SYDC-100M多层浸渍提拉镀膜机

一. 产品应用

本产品主要用于溶胶-凝胶法对不同溶液制备多层薄膜材料。将不同溶液放置在旋转台上，将洁净基片夹持在夹具上，通过设置镀膜程序，基片进入溶液提拉镀膜，然后旋转台将下一层薄膜的溶液自动旋转至基片正下方，然后基片下降进入溶液提拉镀膜，后续膜层依次完成。不同溶液、不同材料的膜层和混插浸镀。例如可以按照溶液顺序排列123456镀膜，也可按照混合排列136425镀膜。一次镀膜流程可用最多6种溶液（材料）做20层薄膜。整个基片浸渍镀膜参数、溶液旋转、不同膜层的间隔时间等流程由镀膜程序全自动控制。

二. 产品简介

浸渍提拉镀膜机是专门为液相（特别是sol-gel法）制备薄膜材料的研究工作而设计，对不同液体通过浸渍提拉生长薄膜。提拉速度、提拉高度、浸渍时间、镀膜次数（多次多层镀膜）、镀膜间隔时间均连续可调、精密控制。对镀膜基质无特殊要求，片状、块状、圆柱状等均可镀膜。运行稳定、工作时液面无振动，可极大提高实验精度与实验效率。

适用于硅片、晶片、玻璃、陶瓷、金属等所有固体材料表面涂覆工艺。应用于科学研究、产品生产。

三. 产品特点

1. 提拉装置、程序控制系统均采用中国台湾及德国进口产品，确保运行精度及稳定性；

2. 可对不同溶液（材料）进行全自动多层浸渍提拉镀膜；

3. 多参数全自动程序控制。共有六个参数设置：下降速度、浸渍时间、提拉速度、镀膜尺寸、镀膜次数、镀膜间隔时间，各参数均连续可调，精密控制。

4. 镀膜程序设定后，从下降到浸渍，再到提拉镀膜的整个镀膜过程全自动运行。

5. 高、低速均运行平稳，镀膜时液面无振动，使膜层更均匀、无条纹。

6. 采用4.3英寸液晶触摸屏使控制更方便。运行时，各项参数实时显示，更直观了解镀膜进程。

7. 上下两端均安装有限位传感器，提拉或下降运行时，到限位处自动停止，避免提拉或下降的超限运行。

8. 采用独特设计的平口型夹具，两面均匀夹持样片，不会夹坏样片。

四. 技术参数

1. 提拉速度范围：1～5000 μm/s，最小分辨率1μm/s；

2. 速度精度：-0.02%～+0.02%

3. 最大行程：230 mm

4. 适用基片尺寸：MIN 10×10 mm，MAX 100×100 mm，厚度MAX 10mm；

5. 浸渍时间：1～1200 s，最小分辨率1s；

6. 溶液种类：MAX 6种；（旋转台上有6个位置，最多可放置6种材料的溶液）

7. 旋转台转速：0.001～1 r/s；

8. 旋转台尺寸：?180 mm；

9. 旋转台控制方式：自动程序控制；

10. 镀膜次数：1～20次，最少1次；

11. 每次镀膜间隔时间：1～3600 s，最小分辨率1s；

12. 电源：220V/50Hz