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一. 产品简介
本产品主要用于镀膜样品的清洗，等离子清洗的机理是依靠处于“等离子态”的物质的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。等离子体清洗通常包括以下过程：
(1) 无机气体被激发到等离子态。
(2) 气相物质被吸附在固体表面。
(3) 被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子。
(4) 产物分子解析形成气相。
(5) 反应残余物脱离表面。
二. 技术参数
(1) 清洗舱尺寸：?150× 270mm
(2) 射频频率： 40KHz
(3) 射频功率: 200W
(4) 电 源： ~220V
(5) 电 流： 1.8A
(6) 外形尺寸: 500×500×240mm
(7) 整机重量： 17Kg
(8) 真空泵配置：2XZ-2型真空泵
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