飞纳台式扫描电镜 能谱版

飞纳台式扫描电镜 能谱版
                        —— 智能、高效、能谱电镜一体化

放大倍数：20×-100,000×

分辨率：优于17nm

电子枪：1500小时CeB₆灯丝

抽真空时间：10秒

加速电压：5 / 10 /15 kV 三档

能谱仪EDS元素分析功能 5～92

拓展功能：3D粗糙度、纤维统计测量，高倍拼图等

 电镜能谱一体化设计

Phenom ProX 的能谱仪EDS是针对台式电镜设计的，本着台式电镜简单易用，售后无忧的宗旨，Phenom ProX的能谱仪EDS 系统完全嵌入在电镜主机中，利用半导体制冷，无需额外冷却系统。下图是传统电镜能谱仪系统与Phenom ProX的对比图

 电镜分辨率显著提高

原Phenom G2 Pro 45000倍

Phenom ProX 45000倍

 瞬间得到样品表面形貌和元素含量

第一步：利用成像模式得到高分辨率的照片，

背散射电子给出丰富的成份像，杂质一目了然

第二步：如果需要分析元素含量，瞬间切换到成份分析模式，点击感兴趣的区域，立刻给出定量定性分析元素名称和含量分布

 5kV，10kV，15kV 三档加速电压

Phenom ProX提供三档加速电压，用户可根据样品类型和测试目的，灵活切换

5kV ：血液  绝缘体直接观测模式

适合对电子束敏感的样品

10kV：电路板  最佳分辨率模式

适合绝大部分样品

15kV：电路板  元素分析模式

X射线特征谱线更明显

 表面形貌和成分信息同时展现

成份模式
4分割背散射电子探测器扇区所得的信号相叠加

形貌模式
4分割背散射电子探测器扇区所得的信号相抵消

成份模式图像包含样品成份与形貌信息

形貌模式图像仅突出样品表面形貌特征

 专利样品杯，30秒快速成像

 直接观看绝缘体，无需喷金

Phenom（飞纳）采用低真空技术，出射电子与空气分子碰撞产生正离子，正离子与样品表面累积的电子中和，有效抑制荷电效应的产生，直接观测各种不导电样品（如下图所示）。

利用降低荷电效应样品杯，更可将开始荷电的放大倍数提高8倍左右，而且不会影响灯丝寿命，下图头发示例：

 操作简便，全程导航

?  自动/手动聚焦

光学导航，所有待观测样品尽在视野之中，高倍下准确切换样品，只需点击感兴趣样品，即可自动移动到屏幕中央

低倍SEM照片导航，导航窗口中的彩色矩形框指示了住观测窗口的观测区域，点击感兴趣的区域，自动移动到样品中央。

 长寿命/高亮度/低色差 CeB6 灯丝

Phenom（飞纳）采用逸出功为2.5eV的CeB6灯丝，其亮度为钨灯丝的10倍，出射电子色差小，为您提供更高质量的图像，其使用寿命长达1500小时，为钨灯丝的10倍，可正常使用1-3年无需更换灯丝，免去了您频繁更换灯丝的麻烦，保证工作进度。

 环境适应性高，完全防震

Phenom（飞纳）可以放置在几乎所有的室内环境当中，无需超净间。采用灯丝、探测器、样品台相对一体化的设计，震动不会引起三者间的相对运动，使Phenom成像不受震动影响，可放置在较高楼层。

 互联网远程检测

Phenom（飞纳）拥有远程检测功能，通过网络，专业工程师可随时为您远程检测系统、答疑解难，为您提供全方位的保护，让您的Phenom随时处于最佳工作状态。

 丰富的拓展功能选件

 适用于不同领域的样品杯选件