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关于SPI公司:
SPI公司(Structure Probe, Inc.)创立于1970年,创立之初以电镜分析服务为主,1975年创立耗材部门,销售电镜专用的试片制作工具及耗材。该公司产品包括SEM、TEM、SPM甚至Laser Microscope 的耗材,仪器部分包括镀碳镀金机、电浆表面清洁或蚀刻机及电浆镀锇机等。
SPI Module™溅射/碳镀机:
SPI Supplies的溅射/碳镀机实现碳蒸发及金属溅射的灵活选择,整合到一个系统中。
特点:
* 能从碳棒或碳纤维中蒸发碳
* 溅射贵金属
* 溅射及碳单元使用同一真空基座
* 堆叠设计*大程度减少工作台的空间要求
* 石英晶体层监控器可选
* 水冷却基座
* 可调节的样品台高度
* 安装、使用简单
系统规格:
* 多重配置可选
* Pyrex(派热克斯玻璃)腔:直径4″×高6″
大小:
* 真空基座:19″ W × 13″ D × 10″ H(48 cm W × 33 cm D × 25 cm H)
* 溅射/碳镀模块:10″ W × 13″ D × 6″ H(25 cm W × 33 cm D × 15 cm H)
系统包括:
* 真空基座,带溅射及/或碳镀膜模块
* 不锈钢真空管
* 溅射模块包括一个溅射头及金靶
* 碳镀膜模块包括一个碳纤维蒸发头
场地需求:
* 真空泵,*低2.1 ft3/min
* 电源:110 V or 220V, 50/60 Hz
* 高纯度氩气罐及校准器(推荐,用于溅镀)
碳镀膜机体系:
包括:
* 真空控制基座
* 碳镀膜机模块(可选碳棒头)
溅射镀膜机体系:
贵金属镀膜(如镀金)
包括:
* 真空控制基座
* 溅射镀膜机模块
组合型溅射/碳镀膜机体系:
“组合型”包括:
* 真空控制基座
* 溅射镀膜机模块
* 碳镀膜机模块/带碳纤维头
* 可选碳棒头
最多添加5台