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SU8010—日立新型高分辨场发射扫描电镜SU8000系列
产品介绍:
日立2005年在中国推出了S-4800型高分辨场发射扫描电镜,由于出色的应用性能、良好的稳定性和简易的维护,收到了各界用户的一致好评。
日立2011年新推出了它的后续机型----SU8010,它继承了S-4800的优点,性能有进一步提高,1kv使用减速功能后,分辨率提升到1.3nm,相对于S-4800可以在更低的加速电压下呈高分辨像,明显提升了以往很难观测的低原子序数样品的观测效果。
特点:
1. 优秀的低加速电压成像能力,1kv分辨率可达1.3nm
2. 日立专利的ExB设计,不需喷镀,可以直接观测不导电样品
3. Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像
4. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能
5. 标配有冷指、电子枪内置加热器,物镜光阑具有自清洁功能
6. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成
二次电子分辨率 |
1.0nm(加速电压15kV、WD=4mm) | |
1.3nm(加速电压1kV、WD=1.5mm) | ||
加速电压 | 0.1~30kV | |
观测倍率 | 20~8000,000(底片输出) | |
60~2,000,000(显示器输出) | ||
样品台 | ||
马达驱动 | 3轴马达 | |
5轴(选配) | ||
行程 | X | 0~50mm |
Y | 0~50mm | |
Z | 360° | |
T | -5~70° | |
R | 1.5~30mm | |
最大装载尺寸 | 100mm(最大) | |
150mm(选配) | ||
探头 | ||
标配 | Lower | 高立体感图像 |
Upper | 高分辨SE、BSE图像 | |
选配 |
STEM | 明场像、暗场像 |
YAG 探头 | BSE图像 | |
半导体探头 | BSE图像 | |
EBIC | 电子束感生电流图像 | |
EDS | 元素分析 | |
反污染措施 | ||
冷指 | 标配 | |
物镜光阑 | 内置自清洁功能 | |
电子枪 | 内置加热器 | |
真空系统 | ||
离子泵 | 3台 | |
分子泵 | 1台 | |
机械泵 | 1台 |
最多添加5台