概要
400μm的X射线光斑，为有害元素的控制提供了高分辨率的扫描分析，适合小到IC集成块单一引脚的分析。同时提供世界最小光斑—10μm （可选配件）。
SDD检测器极大地提高了分辨率和计数率，且无需使用液氮（LN2）
无需任何样品制备或真空--样品仅需要放置在样品室中，即可在正常大气压力下分析。完全整合的软件可控制样品的移动，获取数据分析（包括定性和定量分析，并生成成分组成图像）。将样品放在样品祥中后，只需几秒钟，借助直观的“point and click”选择分析位置，即开始抓取数据。
样品观察采用同轴几何呈象，可消除视差，您可以绝对相信，看到的样品即是测量的位置。
仪器装载了两个X射线管，从而使用户能够简单地切换显微和宏观光束，可适用于一系列实验。这些光管传递的高强度光斑确保了最低的数据获取时间。而光管的单毛细管设计非常适合高强度的元素成像，甚至对于不平整样品同样有效。
通过自动采样扫描很容易获得XRF面扫描图像，样品下方的第二次信号检测能同时收集X射线透射图像。这项技术可提供额外的结构信息，极有利于对兴趣区域的定位，或了解样本的内部结构。
特征
*世界最小光斑 10μm
*高分辨率光斑 400μm
*SDD检测器，无需液氮
*同时显示x射线荧光元素分布和透射图
*膜厚测量、多点分析、EXCEL数据管理软件
*适用于RoHS/ELV/无卤法规的分析
*一台仪器进行多种分析
*有害元素的扫描分析
*样品位置的简单准确控制
*适用于微观尺寸至宏观尺寸的宽范围样品分析
*XGT可解决各种分析问题和困难
規格
型号：
XGT-5200WR
原理：
能量色散型X射线荧光光谱分析法
检测元素：
Na～U(试样在大气中)
样品形态：
塑料、金属、纸、涂料和油漆等的液体(液体试样容器为可选项)，生物样品
样品室环境：
大气
X射线光斑：
10µm，50µm，100µm，400µm，1.2mm,3mm
X射线管：
50kV/1mA, 铑（Rh）靶材
一次X射线滤光片：
Ø1,2mm: 5元素滤光片(Cd/Pb/Cr/Hg/Br)
Ø1,2mm(可选): 多重滤光片及 4 元素滤光片(Cd/Cr,Cl/5元素/不带滤光片r)
Ø100µm:无滤光片
Ø10µm: 无滤光片
检测器：
SDD硅漂移检测器
样品台：
100mm×100mm(面扫描最大尺寸),
200mm×200mm(可选)
样品室：
400×350×40mm(可定制特殊尺寸)
光学成像：
整体图像: 100mm×100mm (标准:400,000象素, 可选: 2百万象素)
细节图像:同轴100倍放大
分析方法：
定性: 自动定性功能,背景显示, ROI 颜色分辨, 匹配功能
定量: FPM, 校准曲线, 有害元素 (Cl补偿,厚度补偿，电线补偿)
测量导航: 条件设置, 定量分析l
数据管理(可选)：
Excel® 数据管理软件,检测报告输出
电源：
AC100, 120, 220, 240V 50/60Hz
重量：
约 280kg
外形尺寸：
680(W)833(D)670(H)mm
