Tescan钨灯丝超大样品室扫描电镜(VEGA3  XMH/XMU)
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泰思肯

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VEGA3 XMH/XMU

--

欧洲

  • 金牌
  • 第12年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
该产品已下架
核心参数
仪器简介:

VEGA 3 XMH/XMU是TESCAN推出的新一代扫描电子显微镜系列,以高品质,完全计算机控制,用户友好界面为基础的系列产品.具有使用方便,产品质量稳定,分析高效为特点的独创设计. U型为高低可变真空,H型为高真空电镜

1.独有的四透镜大视野光学(Wide Field Optics™)设计,该设计提供了多种工作模式和显示模式,体现了Tescan特有可优化电子束光阑的中间镜设计。 
2.成像速度快。 
3.镜筒内没有需要机械对中结构,取而代之的是容易操作和保养的固定光阑。 
4.以电磁的方式改变有效物镜光阑——中间镜起到“光阑转换器”的作用。 
5.高吞吐量/自动取域。例:自动颗粒定点分析。 
6.出众的电动载台设计,支持能谱仪(EDX),波谱仪(WDX),背散射电子衍射仪(EBSD)。 
7.由于使用了强力的涡沦分子泵和机械真空泵,因而可以快速简单得到干净的真空样品室。 
8.完善的显微镜自动设置包括电子光路设置和对中。 
9.网络操作和内置的远程监控/诊断是Tescan的标准配备。 
10.强大的自动功能:全自动真空控制,灯丝自动加热,自动电子枪校正 (Auto gun alignment),改变加速电压,自动补偿偏压,改变电子束大小,电子束探测电流自动跟随改变,改变放大倍率, 
自动调整电子束大小,依据讯号/噪声比自动调整扫描速度,自动对比/亮度调整,自动聚焦,自动调整像差,Look Up Table自动调整等。 
11.完全自动的软件安装. 
12.强大的图象处理功能,使用专业的电镜控制软件,图像抓取,加工,处理和分析; 
I.影像显示尺寸 
1)实时图像显示尺寸:共有512x512, 768x768, 1024x1024等3种方式。 
2)储存图像显示尺寸:共有512x512, 768x768, 1024x1024, 1280x1280, 1536x1536, 2048x2048, 2560x2560, 4096x4096,8192x8192等9种方式。 
3)同时可选择正方形、4x3长方形、2x1长方形等3种尺寸。 
4)可同时显示任意张实时影像或储存影像。 
II.扫描速度:从20ns/图素到10ms/图素,可阶级式或连续式的调整。 
III.聚焦窗口:可连续式调整聚焦窗口的大小和位置。 
IV.动态聚焦,点&线扫描 
V. 图像处理(Image processing):提供15种图像处理功能。 
直方图(Histogram)﹐锐化(Sharpening)﹐等效化(Adaptive Equalisation)﹐ 
对比微分化(Differential Contrast)﹐中值滤波(Median Filter)﹐去噪声 
化(Noise Reduction)﹐自动对比调整(Auto Contrast)﹐阴影补正(Shading 
 Correction)﹐结构化(Structure)﹐反相化(Invert)﹐灰阶化(Convert to  
8 bits grayscale)﹐真实色彩化(Convert to 24 bits true color)﹐图像 
旋转90度(Rotation 90 degree)﹐图像翻转(Flip)﹐傅立叶转换(Fourier  
Transformation)。 
VI.量测功能:提供13种图像量测的功能 
1).可分析彩色影像的RGB值。 
2).可量测线的长度。 
3).可量测任意两点的距离。 
4).可量测不规则形状的长度。 
5).可量测任意夹角。 
6).可量测不规则形状的面积和周长。 
7).可量测圆形的直径和周长。 
8).可量测任意三点所行成的圆形的直径和周长。 
9).可量测椭圆形的长、短轴长度和周长。 
10).可量测正方形面积。 
11).可量测长方形长和宽。 
12).可量测四边形长、宽和周长。 
13).可精确量测任意两点的距离(任何放大倍率下﹐误差小于3%)。 
14).可划指示箭头。 
15).可写说明文字。 
16).可在图像上标示Micro Bar。 
17).字型、字体大小、颜色可任意设定。 
18).可列表作统计处理,并可以储存。 
19).实时或储存的图像均可处理。 
VII.图像存盘: 
1).浏览已储存图像的相本。 
2).找寻已储存图像的数据库系统。 
3).报告产生及从程序中直接打印。 
4).实时或储存的图像均可处理。 
13.卓越的分析品质; 
1)选择目标区域:以灰阶及彩色为起始点-针对选择的区域着色及量测。 
2)3D扫描:可通过各探头的配合,显示真实的三维图象。 
3)硬度分析:以Vickers式硬度或Brinell式硬度标准来测量分析样品。 
4)多图片校正:可以校正其它电镜拍摄的照片的放大倍数。 
5)打印放大倍数:调整显示屏以及打印输出时放大倍数差异。 
6)关机时间设定:可以设定第一次自动关机时间。 
7)公差 
可选配软件 
8)形态学:该软件可对样品图片进行自动分析,测量和分类。其图片来源可以是显微镜,数码相机等。 
9)颗粒度分析:可以对多区域内的样品进行自动测量,分析和分类(不过分析样品必须在扫描窗口内)。该软件结合形态学软件使用,功能更加完善。 
10)自动连续截图 
11)样品观测 
12)鼠标连接:安装该软件后,可以用SEM的鼠标控制其他连接的设备的鼠标进行操作。



技术参数:

VEGA 3 XMH              

分辨率
 高真空(二次电子)
 低真空(背散射电子)
 
3.0nm(30kV),8.0nm(3kV)/ 选配 六硼化镧 2.0nm(30kV),5.0nm(3kV)
 /
 工作真空
  低真空
3x10-5 Pa
 /
 电子光学工作模式 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样
 放大倍率 1x-1,000,000x
 加速电压 200V至30KV
 电子枪 钨灯丝/六硼化镧
 探针电流 1pA至2μA
 扫描速度 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整
 聚焦窗口 形状、尺寸和位置连续可调
 扫描特性 动态聚焦,聚焦窗口,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像
 图象尺寸 最大可达8192×8192像素,图象比例可选1:1、4:3或2:1。
 显微镜控制 通过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作VEGA TC软件,所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现
 自动程序
实时电子束追踪优化,束斑直径优化放大倍数,聚焦&消象散,对比度&亮度,扫描速度(根据信噪比),灯丝饱和调整,电子枪对中,光阑&透镜对中,真空控制,加速电压的补偿,灰度等级调整
 远程控制 通过TCP/IP
 样品室
 内部尺寸 285mm宽×340mm深
 门宽 285mm宽×320mm高
 接口数量 12+
 样品室减振方式 气垫(可选配内置主动式电磁减振)
+ 可根据客户需求调整接口数量和位置。
 样品载台
 类型 全电脑化优中心
 

 移动范围
X=130mm —— 马达驱动
Y=130mm ——马达驱动
Z=100mm —— 马达驱动
旋转:360°连续可调——马达驱动
倾斜:-30°到+90°——马达驱动
 样品高度 最大145mm
                              
                              
VEGA 3 XMU         
分辨率
 高真空(二次电子)
 低真空(BSE,LVSTD)
 
3nm(30kV),8nm(3kV) / 选配 六硼化镧 2nm(30kV),5nm(3kV)
3.5nm(30kV) / 选配 六硼化镧2.5(30kV)
 工作真空
 低真空
  
 3-500Pa(可选配2000Pa)
 电子光学工作模式 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样
 放大倍率 1x-1,000,000x
 加速电压 200V至30KV
 电子枪 钨灯丝/六硼化镧
 探针电流 1pA至2μA
 扫描速度 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整
 聚焦窗口 形状、尺寸和位置连续可调
 扫描特性 动态聚焦,聚焦窗口,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像
 
 图象尺寸
最大可达8192×8192象素,图象比例可选1:1、4:3或2:1
 显微镜控制 通过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作VEGA TC软件,所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现
 自动程序
实时电子束追踪优化,束斑直径优化放大倍数,聚焦&消象散,对比度&亮度,扫描速度(根据信噪比),灯丝饱和调整,电子枪对中,光阑&透镜对中,真空控制,加速电压的补偿,灰度等级调整
 远程控制 通过TCP/IP
 
 样品室
 内部尺寸 285mm宽×340mm深
 门宽 285mm宽×320mm高
 接口数量 12+
 样品室减振方式 气垫(可选配内置主动式电磁减振)
 可根据客户需求调整接口数量和位置。
 样品载台
 类型  
全电脑化优中心
 

 移动范围
X=130mm——马达驱动
Y=130mm——马达驱动
Z=100mm——马达驱动
旋转:360°连续可调——马达驱动
倾斜:-30°到+90°——马达驱动
 样品高度 最大145mm

     

主要特点:

国内唯一一家使用中文操作界面的电镜厂商 
  1.电磁式电子枪自动对中; 
  2.可以提供四种观察影像模式:分辨率模式;景深模式,视野模式;大视野模式,很方便寻找样品位置; 
  3.红外线样品室内摄像装置,可以在测量同时观测样品; 
  4.真空系统采用一台机械泵和一台分子泵,抽真空速度快,在更换样品后,三分钟就可达到待测状态;并且不需要使用冷却水冷却. 
  5.采用气垫减震系统 
  6.先进的软件系统,在数据储存数据记录数据打印等方面具有多种创新功能. 
  7.11个外扩展接口. 
  8.可对SEM进行远程控制

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