Tescan聚焦离子束扫描电镜VELA3(VELA3  FIB-SEM)
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Tescan聚焦离子束扫描电镜VELA3(VELA3  FIB-SEM)

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泰思肯

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VELA3 XMU/XMH/GMU

--

欧洲

  • 金牌
  • 第12年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
该产品已下架
核心参数
仪器简介

VELA 3  是TESCAN最新推出的一款聚焦离子束显微镜,以高品质,完全计算机控制,用户友好界面为基础的系列产品.具有使用方便,产品质量稳定,分析高效为特点的独创设计。该型号样品台行程大,可承受最大样品重量甚至可达10Kg,是现有样品台可载重最大的扫描电子显微镜。使用于航空航天,汽车配件,发动机等事业单位和研究单位,其超大的样品室和载重可为您带来无可比拟的便捷,使得对一些不方便进行切割等处理的样品的观察成为可能。 
    U型为高低可变真空,H型为高真空电镜
    LM型为大样品室,XM为超大样品室,GM为超级样品室


1.独有的四透镜大视野光学(Wide Field Optics™)和Tescan特有可优化电子束光阑的中间镜设计,提供了多种工作模式和显示模式。 
2.选配了气体注入系统。 
3.镜筒内没有需要机械对中结构,取而代之的是容易操作和保养的固定光阑。 
4.以电磁的方式改变有效物镜光阑——中间镜起到“光阑转换器”的作用。 
5.高吞吐量/自动取域。例:自动颗粒定点分析。 
6.出众的电动载台设计,支持能谱仪(EDX),波谱仪(WDX),背散射电子衍射仪(EBSD)。 
7.由于使用了强力的涡沦分子泵和机械真空泵,因而可以快速简单得到干净的真空样品室。 
8.完善的显微镜自动设置包括电子光路设置和对中。 
9.网络操作和内置的远程监控/诊断是Tescan的标准配备。 
10.强大的自动功能:全自动真空控制,灯丝自动加热,自动电子枪校正 (Auto gun alignment),改变加速电压,自动补偿偏压,改变电子束大小, 
自动调整电子束大小,依据讯号/噪声比自动调整扫描速度,自动对比/亮度调整,自动聚焦,自动调整像差等。 
11.完全自动的软件安装. 
12.强大的图象处理功能,使用专业的电镜控制软件,图像抓取,加工,处理和分析; 
I.影像显示尺寸 
1)实时图像显示尺寸:共有512x512, 768x768, 1024x1024等3种方式。 
2)储存图像显示尺寸:共有512x512, 768x768, 1024x1024, 1280x1280, 1536x1536, 2048x2048, 2560x2560, 4096x4096,8192x8192等9种方式。 
3)同时可选择正方形、4x3长方形、2x1长方形等3种尺寸。 
4)可同时显示任意张实时影像或储存影像。 
II.扫描速度:从160ns/图素到10ms/图素,可阶级式或连续式的调整。 
III.聚焦窗口:可连续式调整聚焦窗口的大小和位置。 
IV.动态聚焦,点&线扫描 
V. 图像处理(Image processing):提供锐化(Sharpening)﹐自动对比调整(Auto Contrast)﹐去噪声 
化(Noise Reduction)等15种图像处理功能。 
VI.量测功能:提供量测任意两点的距离,量测任意夹角,不规则形状的面积和周长,划指示箭头,写说明文字等13种图像量测的功能 
VII.图像存盘: 
1).浏览已储存图像的相本。 
2).找寻已储存图像的数据库系统。 
3).报告产生及从程序中直接打印。 
4).实时或储存的图像均可处理。 
13.卓越的分析品质; 
1)选择目标区域:以灰阶及彩色为起始点-针对选择的区域着色及量测。 
2)3D扫描:可通过各探头的配合,显示真实的三维图象。 
3)硬度分析:以Vickers式硬度或Brinell式硬度标准来测量分析样品。 
4)多图片校正:可以校正其它电镜拍摄的照片的放大倍数。 
5)打印放大倍数:调整显示屏以及打印输出时放大倍数差异。 
6)关机时间设定:可以设定第一次自动关机时间。 
7)公差 
可选配软件 
8)形态学:该软件可对样品图片进行自动分析,测量和分类。其图片来源可以是显微镜,数码相机等。 
9)颗粒度分析:可以对多区域内的样品进行自动测量,分析和分类(不过分析样品必须在扫描窗口内)。该软件结合形态学软件使用,功能更加完善。 
10)自动连续截图 
11)样品观测 
12)鼠标连接:安装该软件后,可以用SEM的鼠标控制其他连接的设备的鼠标进行操作。



技术参数
聚焦离子束高真空钨灯丝扫描电镜 VELA 3 XMH  
 分辨率(SEM)
 高真空(二次电子)
      (背散射电子)
 分辨率(FIB)

3nm(30kV),8nm(3kV)/ 选配 六硼化镧 2nm(30kV),5nm(3kV) 
3.5nm(30kV)
Canion系列: <5nm(30kV);Cobra系列:<2.5nm(30kV)
 工作真空
 离子枪真空

<5×10-6 Pa
 电子光学工作模式 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样
 放大倍率 1x-1,000,000x(SEM);150x-1,000,000x(FIB)
 加速电压 200V至30KV(SEM);0.5KV至30KV(FIB)
 电子枪 钨灯丝(SEM);液态金属镓离子源(FIB)
 探针电流(SEM)
 探针电流(FIB)
1pA至2μA(SEM)
Canion系列:1pA至40nA; Cobra系列:1pA至50nA
 扫描速度 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整
 聚焦窗口 形状、尺寸和位置连续可调
 扫描特性 动态聚焦,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像
 图象尺寸 最大可达8192×8192象素,图象比例可选1:1、4:3或2:1
 显微镜控制 通过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作VELA TC软件,所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现
 自动程序
专利的实时电子束追踪技术自动最优化电子束,根据放大倍数优化束斑(BI OptiMag),自动聚焦&消象散,自动调整对比度&亮度,自动调整扫描速度(根据信噪比),自动调整饱和电流,电子枪合轴,透镜&光阑对中,真空控制,加速电压的补偿,灰度级调整
 远程控制 通过TCP/IP
 样品室
 内部尺寸 285mm宽×340mm深
 门宽 285mm宽×320mm高
 接口数量 12+
 样品室减振方式 内置主动式电磁减振
 可根据客户需求调整接口数量和位置。
 样品载台
 类型 全电脑化优中心
 

 移动范围
X=130mm —— 马达驱动
Y=130mm ——马达驱动
Z=100mm —— 马达驱动
旋转:360°连续可调——马达驱动
倾斜:-30°到+90°——马达驱动 
 样品高度 最大139mm

 


聚焦离子束可变真空扫描电镜 VELA 3 XMU

分辨率(SEM)
 高真空(二次电子)
      (BSE,LVSTD)
 分辨率(FIB)


3nm(30kV),8nm(3kV)/ 选配 六硼化镧 2nm(30kV),5nm(3kV) 
3.5nm(30kV)
Canion系列: <5nm(30kV);Cobra系列:<2.5nm(30kV)

 工作真空
 低真空模式
 电子枪真空
 离子枪真空

3-500Pa(可选配2000Pa)
<3×10-7 Pa 
<5
×10-6 Pa 
 电子光学工作模式 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样 
 放大倍率 1x-1,000,000x(SEM);150x-1,000,000x(FIB)
 加速电压 200V至30KV(SEM);0.5KV至30KV(FIB)
 电子枪 钨灯丝(SEM);液态金属镓离子源(FIB)

 探针电流(SEM)
 探针电流(FIB)

1pA至2μA(SEM)
Canion系列:1pA至40nA; Cobra系列:1pA至50nA

 扫描速度 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整
 聚焦窗口 形状、尺寸和位置连续可调
 扫描特性 动态聚焦,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像
 图象尺寸 最大可达8192×8192象素,图象比例可选1:1、4:3或2:1
 显微镜控制 通过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作VELA TC软件,所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现 
 自动程序 专利的实时电子束追踪技术自动最优化电子束,根据放大倍数优化束斑(BI OptiMag),自动聚焦&消象散,自动调整对比度&亮度,自动调整扫描速度(根据信噪比),自动调整饱和电流,电子枪合轴,透镜&光阑对中,真空控制,加速电压的补偿,灰度级调整
 远程控制 通过TCP/IP
  样品室
 内部尺寸 285mm宽×340mm深
 门宽 285mm宽×320mm深
 接口数量 12+ 
 样品室减振方式 内置主动式电磁减振
 样品载台
 类型 全电脑化优中心
 

 移动范围
X=130mm —— 马达驱动
Y=130mm ——马达驱动
Z=100mm —— 马达驱动
旋转:360°连续可调——马达驱动
倾斜:-30°到+90°——马达驱动 
 样品高度 最大139mm

聚焦离子束可变真空扫描电子显微镜 VELA 3 GMU

分辨率(SEM)
 高真空(二次电子)
       (BSE,LVSTD)
 分辨率(FIB)


3nm(30kV),8nm(3kV)/ 选配 六硼化镧 2nm(30kV),5nm(3kV) 
3.5nm(30kV)
Canion系列: <5nm(30kV);Cobra系列:<2.5nm(30kV)

 工作真空
 低真空模式
 电子枪真空
 离子枪真空

3-500Pa(可选配2000Pa)
<3×10-7 Pa 
<5
×10-6 Pa 
 电子光学工作模式 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样 
 放大倍率 1x-1,000,000x(SEM);150x-1,000,000x(FIB)
 加速电压 200V至30KV(SEM);0.5KV至30KV(FIB)
 电子枪 钨灯丝(SEM);液态金属镓离子源(FIB)

 探针电流(SEM)
 探针电流(FIB)

1pA至2μA(SEM)
Canion系列:1pA至40nA; Cobra系列:1pA至50nA

 扫描速度 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整
 聚焦窗口 形状、尺寸和位置连续可调
 扫描特性 动态聚焦,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像
 图象尺寸 最大可达8192×8192象素,图象比例可选1:1、4:3或2:1
 显微镜控制 通过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作VELA TC软件,所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现 
 自动程序 专利的实时电子束追踪技术自动最优化电子束,根据放大倍数优化束斑(BI OptiMag),自动聚焦&消象散,自动调整对比度&亮度,自动调整扫描速度(根据信噪比),自动调整饱和电流,电子枪合轴,透镜&光阑对中,真空控制,加速电压的补偿,灰度级调整
 远程控制 通过TCP/IP
  样品室
 内部尺寸 340mm宽×315mm深
 门宽 340mm宽×320mm深
 接口数量 20+ 
 样品室减振方式 内置主动电磁减振
 样品载台
 类型 全电脑化优中心
 

 移动范围
X=130mm —— 马达驱动
Y=130mm ——马达驱动
Z=100mm —— 马达驱动
旋转:360°连续可调——马达驱动
倾斜:-60°到+90°——马达驱动 
 样品高度 最大139mm





主要特点

国内首家使用中文操作界面的电镜厂商 
  1.系统实现了电子束和离子束的共聚焦,有气体注入系统; 
  2.可以提供四种观察影像模式:分辨率模式;景深模式;视野模式;大视野模式,很方便寻找样品位置;倾斜电子束模式 
  3.独创的低真空二次电子探测器(LVSTD). 
  4.红外线样品室内摄像装置,可以在测量同时观测样品; 
  5.真空系统采用一台机械泵和一台分子泵,FIB电子枪部分使用离子泵,抽真空速度快,在更换样品后,三分钟内就可达到待测状态;并且不需要使用冷却水冷却. 
  6.采用气垫减振系统 
  7.先进的软件系统,在数据储存数据记录数据打印等方面具有多种创新功能. 
  8.完善的自动功能,能帮助您更快更好的获取图片 
  9.9个以上外扩展接口. 
  10.可进行远程控制

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Tescan聚焦离子束扫描电镜VELA3(VELA3 FIB-SEM)信息由广州贝拓科学技术有限公司为您提供,如您想了解更多关于Tescan聚焦离子束扫描电镜VELA3(VELA3 FIB-SEM)报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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