MIDAS SYSTEM公司开发并生产用于半导体、MEMS、LED及纳米技术相关的实验室和工业领域的光罩对准曝光机和甩胶机，是韩国第一家研发并商业化光罩对准曝光机的企业，始终致力于不断完善、增强技术型企业的核心竞争力。
MIDAS SYSTEM公司具有专业化的设计团队，以客户需要为己任，生产、供应满足国内外企业、科研院所不断增长的应用需求，并且提供半导体工艺相关的设备需要。
SPIN-3000A桌上型精密甩胶机设计用于实验室应用，精准地将一系列液体材料涂于基片上，根据材料的粘度、转速以及甩胶时间等参数甩胶膜厚范围从1nm直到100μm。
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项目 |
参数 |
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甩胶时间 |
1～999s可调 |
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基片尺寸 |
直至6″ |
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卡盘转速 |
100～8000rpm |
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旋转状态 |
50步、10菜单 |
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胶钵尺寸 |
12″ |
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加速/减速速率 |
可调 |
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真空卡盘 |
阳极处理铝，缩醛 |
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电源 |
220V、5A |
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无油真空/压力泵 |
-650mmHg |
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尺寸 |
230mm×340mm×260 mm |
