徕卡高级溅射镀膜仪 Leica EM SCD050
仪器简介：
*适用于常规SEM/TEM/EDX喷涂要求；也可应用于制备多层膜样品
*功能：金属溅射镀膜/辉光放电/蚀刻（样品清洁）/碳丝蒸发镀膜
*带有金属靶档板，适用于特殊溅射靶材的预溅射，确保镀膜纯度
*可选配石英膜厚监控器，可程序化控制膜厚，并反馈镀膜仪
*样品室尺寸：标配Ø106mm，选配Ø205mm（可容纳wafer 152mm/6"圆形或127mm/5"方形）
*操作简单，带有LED指示，机身印有操作说明
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