产地类别: 进口
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产品特点:
*可连接多个沉积源,沉积源的加载和更换方便;
*带有可视窗口和易于清洗的钟形玻璃罩;
*气动升降钟形罩;
*300 l/s 涡轮泵,爱德华真空泵(RV-8,6.9cfm);
*可监控沉积速率和沉积厚度;
*自诊断、集成触摸屏,控制手套箱、钟形罩和蒸镀,包括自动泵、排气和内部诊断;
*旋转台高度、倾斜度和旋转速率可调,易于观测,方便更换遮罩、基板;
*4小时内可达到真空度:5*10-7托;
*对于许多应用,在20-30分钟内,当真空度达到约5*10-5时,开始沉积;
*根据用户要求订制。
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