“ 我们将简短回顾AMC类别,AMC对洁净室环境和晶圆可能造成的负面影响,以及Vocus CI-TOF质谱仪在多个半导体应用场景下对多种AMC的监测案例”
01
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背景介绍
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气态分子污染物(AMC)
图1.基于半导体设备和系统线路图,不同制程节点要求下洁净室内AMC上限浓度一览。
图2.Vocus CI-TOF与其他分析技术的参数对比
03
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半导体应用案例
图3.某间ISO 6等级的洁净室内Vocus CI-TOF采集到的谱图,多种类的AMC同时被Vocus CI-TOF检出。
1. Den et al. 2020. Doi:10.1149/2162-8777/aba080
2. Nguyenet al. 2013. Doi:10.1016/j.mee.2012.04.008
3. Jeonget al. 2019. Doi:10.1109/ASMC.2019.8791794
4. Den et.al. 2005. Doi:10.1149/1.2147286
[来源:南京拓服工坊(TOFWERK中国)]
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