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半导体&电子测试测量，投稿：kangpc@instrument.com.cn
1、 会议流程：
会议时间：2023年8月28-31日
会议地址：青岛鑫江温德姆酒店
会议承办单位：青岛天仁微纳科技有限责任公司
日期 |
时间 |
地点 |
内容 |
备注 |
8月28日 星期一 |
全天 |
一楼大厅 |
报到，签到 |
会务组酒店签到 |
11:30-13:00 |
指引已报到的参会嘉宾自助午餐 |
会务接待组 |
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14:00-17:00 |
二楼华润厅 |
青少年科普课堂： 《微电子微光刻科学技术知识的宣贯、播种、科学普及教育从娃娃抓起的亲子活动》及《以魔方为例谈谈学习方法的重要性的科普活动》和《魔方与现代科学及魔方与标准化的研究》。 |
“魔方爷爷” |
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17:30-18:00 |
技术交流 海德堡仪器公司技术专家董越先生《创新先进技术-双光子聚合(TPP)实现3D微光刻及微型打印》。 |
光映科技公司 |
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18:30-21:00 |
欢迎晚宴 |
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8月29日 星期二 |
6：30-8:00 |
一楼餐厅 |
自助早餐 |
至10：00结束 大床房 双早 双床间 双早 |
8:30-12:00 |
一楼鑫江厅 |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会（TC203/SC4）年会暨第十三届微光刻技术交流会开幕式： 1）主办单位领导致欢迎辞。 2）青岛市领导致辞。 3）承办单位领导致欢迎辞。 4）微光刻分委会秘书长 有关委员会《三十年历程及十年磨一剑》简介。 5）集体照 微光刻技术交流报告 6) 湖南大学段辉高教授：《力学辅助光刻及其应用》。 7）苏州大学陈林森教授：《微纳光制造（数字光刻/智能纳米压印）》 8）中国科学院上海高等研究院X射线光学技术实验室副主任吴衍青研究员《上海光源 EUV光刻胶检测技术新进展》 9）北京大学物理学院副研究员朱振东老师：《氮化硅微腔光频梳器件关键技术》 10）神光光学集团有限公司首席科学家，神光研究院曹海平院长：《神光光学用于微光刻的玻璃材料和元件》。 11）中国科学院光电技术研究所研究员王建老师：《面向特种芯片的光刻技术与装备》 |
主持人： 微光刻分技术委员会主任委员 冯稷主任 主持人： 湖南大学 段辉高教授 主持人： 清华大学 李群庆教授 |
|
12:00-13:00 |
二楼华润厅 |
自助午餐 |
GenIsys公司 |
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13:30-18:00 |
一楼鑫江厅 |
半导体设备和材料及先进光刻技术交流会 1） 青岛天仁微纳科技有限责任公司事业发展经理 Massimo Tormen：Manufacturing advanced photonic devices needs reliable nanoimprinting lithography solutions。 2)海德堡仪器公司Nano AG/杨菲博士：《纳米扫描热探针直写技术（NanoFrazor）》一种可应用于纳米尺度科学研究的纳米制造技术。 3)锐时科技（北京）有限公司副总经理朱军先生：《Raith Nanofabracation Application Updates 2023》。 4) Genlsys公司亚太总监陈利奇先生：《GenlSys Update 2023》。 5）清华大学刘泽文教授：《光刻技术回顾与展望》。 6) 中国科学院微电子研究所研究员夏洋老师：《集成电路工艺装备及科教融合》。 7) 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所研究员张志宇老师：《大幅面微纳结构光学表面制造技术》。 8) 江苏长进微电子材料有限公司总经理王凯先生：《新型高分辨率电子束光刻胶和用于三层结构新型显影工艺》。 9) 长飞石英技术 (武汉) 有限公司销售副总监肖畅先生：《微光刻用合成石英材料开发进展与应用》。 10) 矽万 (上海）半导体科技有限公司陈硕先生：《基于3D光刻的曲面衬底非球面微透镜阵列》。 11) 苏州锐材半导体有限公司销售经理江茜女士：《SOI晶圆和其它晶圆键合新材料》。 12) 深圳清力技术有限公司实验平台负责人潘旭捷先生：《深圳超滑技术实验平台微纳米工艺介绍》。 13) 纳糯三维科技 (上海) 有限公司总经理崔万银博士：《双光子灰度光刻技术在微光学器件中的应用》。 14) 中国科学院微电子研究所杨尚老师《数字化掩模灰度光刻的建模与仿真》。 15) 福建省水电科学研究院刘辉文老师：《电位限制式电子束投影光刻技术的新进展》 |
主持人： 清华大学 刘泽文教授 主持人： 上海交通大学 程秀兰教授 |
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18:00-20:00 |
二楼华润厅 |
晚宴 |
Raith 锐时科技公司 |
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| 20:00-21:00 | 一楼鑫江厅 | Genlsys公司用户会 | ||
8月30日 星期三 |
6：30-8:00 |
一楼餐厅 |
自助早餐 |
至10：00结束 大床房 双早 双床间 双早 |
8:30-12:00 |
一楼鑫江厅 |
微光刻标准化分技术委员会年会 1）纳米压印国家标准制定工作组筹建情况介绍。包括工作组成员及主要起草单位和主要起草人介绍。 2）关于“纳米压印国家标准”申请立项书草案。 3）“纳米压印国家标准”初稿草案。 4）其它有关纳米压印技术建议。 2023-2024年两届承办方交接牌仪式 2023年第十三届承办单位青岛天仁微纳科技有限责任公司董事长冀然先生交会牌，致感谢词； 2024年第十四届承办单位中国科学院上海高等研究院X射线光学技术实验室副主任吴衍青研究员接会牌，致欢迎词。 |
微光刻分技术委员会主任委员冯稷主任 |
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12:00-13:00 |
二楼华润厅 |
自助午餐 |
神光光学集团 |
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13:00-17:00 |
待定 |
重要的调研参观考察 |
待定 |
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18:00-20:00 |
二楼华润厅 |
欢送晚宴 |
青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
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8月31日 星期四 |
6:00-10:00 |
一楼餐厅 |
自助早餐 |
至10：00结束 大床房 双早 双床房 双早 |
9:00-12:00 |
退房 |
参会嘉宾返程 |
会务组 |
2、交通信息参考
会议地点：青岛鑫江温德姆酒店（青岛市城阳区黑龙江中路220号）
路线建议：
1、飞机：青岛胶东国际机场——青岛鑫江温德姆酒店
网约车：40.3公里，【时长：37分钟，总费用：80元左右】；
地铁-公交：地铁8号线（胶东机场地铁站--青岛北站）--地铁1号线（青岛北站--仙家寨）--A2出口步行6分钟至汽车北站，乘坐即青1号线（汽车北站--仙山东路黑龙江路）-青岛鑫江温德姆酒店，【时长：1小时42分钟，总费用：8元】；
地铁-打车：地铁8号线（胶东机场地铁站--青岛北站）--地铁1号线（青岛北站--仙家寨）--A3出口打车至青岛鑫江温德姆酒店，【时长：1小时23分钟，总费用：17元】；
2、高铁：
（1）青岛北站——青岛鑫江温德姆酒店
网约车：12公里，【时长：20分钟，总费用：30元左右】；
地铁-公交：地铁1号线（青岛北站--仙家寨）--A2出口步行6分钟至汽车北站乘坐即青1号线（汽车北站--仙山东路黑龙江路）-青岛鑫江温德姆酒店，【时长：50分钟，总费用：4元】；
地铁-打车：地铁1号线（青岛北站--仙家寨）--A3出口打车至青岛鑫江温德姆酒店，【时长：33分钟，总费用：13元】；
（2）青岛站——青岛鑫江温德姆酒店
网约车：29公里，【时长：35分钟，总费用：53元左右】；
地铁-公交：地铁1号线（青岛站--仙家寨）--A2出口步行6分钟至汽车北站乘坐即青1号线（汽车北站--仙山东路黑龙江路）-青岛鑫江温德姆酒店，【时长：1小时15分钟，总费用：6元】；
地铁-打车：地铁1号线（青岛站--仙家寨）--A3出口打车至青岛鑫江温德姆酒店，
【时长：58分钟，总费用：16元】。
青岛鑫江温德姆酒店--喆·啡酒店
打车：6分钟，费用约9元
步行：1.5公里，约20分钟
附件：青岛部分热门景点
市南沿海一线（五四广场、奥帆中心、情人坝、小麦岛公园、燕儿岛山公园游玩线路比较集中，建议已一条线路游玩）
★酒店—五四广场
酒店步行500米到达西小水公交站台乘坐公交车502路（市政府南通路方向）10站到市政府南通路公交站台下车，步行15分钟即到五四广场。
★五四广场—奥帆海洋文化旅游区—情人坝—燕儿岛山公园—小麦岛公园
以五四广场为沿海一线游玩起点，五四广场导航指引步行10分钟即到奥帆海洋文化旅游区，步行20分钟即到情人坝，步行30分钟即到燕儿岛山公园，步行50分钟即到小麦岛公园；
★栈桥景区
酒店步行500米到达仙山东路黑龙江路公交站台乘坐公交车即青1号线（汽车北站方向）2站到汽车北站公交站台下车，步行230米至仙家寨（汽车北站）地铁站（王家港方向）乘坐地铁1号线乘19站青岛站G口方向即到
★中山公园—八大关风景区
酒店步行260米到达黑龙江中路仙山东路公交站台乘坐公交车103路（李村站方向）19站到李村站公交站台下车，步行220米至李村地铁站（青岛站方向）14站中山公园地铁站A口出步行500米即到中山公园。中山公园步行10分钟即到八大关风景区。
★崂山风景区
酒店步行500米到达西小水公交站台乘坐公交车502路（市政府南通路方向）3站到黑龙江中路枣山路站公交站台下车，步行200米至枣山路地铁站乘坐地铁2号线（泰山路方向）乘5站站内换乘地铁11号线（钱谷山方向）9站北九水地铁站B1口出站即到。
石老人海水浴场
★即墨古城
酒店步行500米到达仙山东路黑龙江站台乘坐公交车即青1号线（汽车城公交枢纽站方向）7站到得利电器公交站台下车，同站换成即墨2006路（永昌公交总站方向）14站到即墨古城（西门）公交站
★金沙滩风景区
酒店步行260米到达黑龙江中路仙山东路公交站台乘坐公交车941路（临时站方向）11站到重庆中路瑞金路公交站台下车，步行250米至瑞金路地铁站（王家港方向）21站山里地铁站C口出到达山里地铁站公交站乘坐公交车黄岛4路（灵山卫公交枢纽站方向）5站到电影学院公交站台下车即到。
参会方式：
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2022.09.25
2023.08.30
2023.08.31
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