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力积电早前发出公告,公司独立董事暨薪酬委员会委员林本坚因个人业务繁忙,辞任独立董事与薪酬委员会职务,这项人事案将于4月27日起生效。
力积电指出,林本坚于2021年7月2日当选独立董事,原任期将在明年5月26日才截止,不过这次异动仍引发半导体业界讨论。
现年80岁的林本坚目前仍是中研院院士、清大特聘讲座教授,并担任清大半导体学院院长,林在台积电研发副总任内因为研发出浸润式微影技术、改写全球半导体发展史,让台积电甩开与英特尔、三星的距离。
2015年,林本坚从台积电退休时,台积电创办人张忠谋为他举办的晚会上发表感言,张忠谋特别说:「假如没有你和你所建立的团队,台积电的微影不会有今天这规模。」肯定了林本坚过去在台积电15年难以被取代的建树。
林本坚发明的浸润式微影技术,也让艾司摩尔放弃原先157奈米干式微影曝光机的研发,转向与台积电共同开发193纳米浸润式微影机台,此外,IBM、比利时微电子研究中心(Imec)等都改用此项技术。
林本坚这项重大的发明,影响了半导体产业长达20年的发展,是台湾半导体史上关键的一击。
[来源:半导体行业观察]
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