半导体&电子测试测量,投稿:kangpc@instrument.com.cn
近日,中山大学公布了4月和5月的采购意向,其中包含了一批仪器采购需求,涉及一批半导体设备,总预算共计1972.68万元。
以下为预算详情:
序号 | 采购仪器 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 备注 |
1 | 1台SEM(有电子束曝光及离子束刻蚀) | 500 | 2021年5月 | 详见项目详情 |
2 | 100台示波器 | 100 | 2021年5月 | 详见项目详情 |
3 | 1台光刻机(微米级) | 200 | 2021年5月 | 详见项目详情 |
4 | 1台刻蚀机 | 100 | 2021年5月 | 详见项目详情 |
5 | 1台硬件仿真器 | 800 | 2021年5月 | 详见项目详情 |
6 | 无线数码互动显微系统 | 130.48 | 2021年4月 | 详见项目详情 |
7 | 数字示波器 、直流稳压电源、 信号发生器 、 数字万用表 四大件各45套(共180台) | 142.2 | 2021年4月 | 详见项目详情 |
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