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元器件失效分析配置清单

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分享: 2020/10/30 18:19:27
导读: 失效分析(FA)是对已失效器件进行的一种事后检查。通过失效分析可以发现失效器件的固有质量问题,对提高元器件的固有质量或使用质量起到十分重要的作用。

失效分析(FA)是对已失效器件进行的一种事后检查。根据需要,采用电测试以及各种先进的物理、金相和化学分析技术,并结合元器件失效前后的具体情况及有关技术文件进行分析,以验证所报告的失效,确定元器件的失效模式、失效机理和造成失效的原因。全面系统的失效分析可以确定失效的原因,对于器件设计、制造工艺、试验或应用的改进具有指导作用,采取相应的纠正措施消除失效模式或机理产生的原因,从而实现器件以及装备整体可靠性的提高。

通过失效分析可以发现失效器件的固有质量问题,也有可能发现元器件因不按规定条件使用而失效的使用质量问题,通过向有关方面反馈,促使责任方采取纠正措施,以便消除所报告的失效模式或机理产生的原因,防止其再次出现,对提高元器件的固有质量或使用质量都起到十分重要的作用。

失效分析的相关标准也有很多,主要包括

标准号

名称

GJB548B-2005

微电子器件试验方法和程序

GJB450A

装备可靠性工作通用要求

GJB841

故障报告、分析和纠正系统

GJB536B-2011

电子元器件质量保证大纲

QJ3065.5-98

元器件失效分析管理要求

GJB 33A-1997

半导体分立器件总规范

GJB 65B-1999

有可靠性指标的电磁继电器总规范

GJB 597A-1996

半导体集成电路总规范

通常失效分析的常见流程包括:失效现场信息调查、失效模式确认、外观检查、非破坏性分析、半破坏性分析、破坏性分析、综合分析、报告编写。如下为典型失效分析流程

                                             

元器件的失效分析涉及到数量众多,种类繁杂的仪器设备,以下为元器件失效分析的相关测试项目及检测仪器设备清单:

测试项目

检测仪器设备

电性测试

LCR阻抗分析仪

高阻计

耐压测试仪

ESD测试仪

探针台

半导体参数分析仪

高精度图示仪

可编程电源

电子负载

示波器

频谱分析仪

数字/模拟集成电路测试机台

电磁继电器测试系统

形貌观察

体视显微镜

金相显微镜

X-RAY透射系统

声学扫描显微镜

扫描电镜

透射电镜

聚焦离子束

制样设备

机械开封机

化学开封机

反应离子刻蚀机

研磨抛光机

应力试验设备

高低温试验箱-热循环试验

热冲击试验箱-热冲击试验

振动台-机械振动试验

恒定加速度试验台-恒定加速度试验

可编程电源-电压、功率老炼试验

电子负载-电流、功率老炼

频率发生器-老炼试验

浪涌发生器-浪涌试验

高温真空箱

其他检测设备

颗粒碰撞噪声测试仪

氦质谱检漏仪

碳氟化合物粗检漏仪

键合拉力测试仪

剪切力测试仪

火花试验机

失效分析对产品的生产和使用都具有重要的意义,失效可能发生在产品寿命周期的各个阶段,涉及产品的研发设计、来料检验、加工组装、测试筛选、客户端使用等各个环节,通过分析工艺废次品、早期失效、试验失效、中试失效以及现场失效的样品,确认失效模式、分析失效机理,明确失效原因,最终给出预防对策,减少或避免失效的再次发生。


[来源:仪器信息网] 未经授权不得转载

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作者:KPC

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p33346402020-11-02 05:40:47
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