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清华预算600万采购涂胶显影一体机

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分享: 2020/10/10 14:00:21
导读: 10月9日,清华大学发布《清华大学涂胶显影一体机采购项目公开招标公告》,预算达600万元,主要用于对8英寸及6英寸直径的硅、玻璃、聚合物等材料基片进行光刻胶或聚合物材料的均匀涂覆并在光刻后进行显影。

10月9日,清华大学发布《清华大学涂胶显影一体机采购项目公开招标公告》,预算达600万元。本次采购的涂胶显影一体机主要用于对8英寸及6英寸直径的硅、玻璃、聚合物等材料基片进行光刻胶或聚合物材料的均匀涂覆并在光刻后进行显影,以达到后续光刻或键合等工艺的要求。

获取招标文件时间为2020年10月09日 至 2020年10月15日,每天上午9:00至11:30,下午13:30至17:00。提交投标文件截止2020年10月30日 14点00分。开标时间为2020年10月30日 14点00分。以下为公告概要:

项目概况

清华大学涂胶显影一体机采购项目 招标项目的潜在投标人应在北京市海淀区文慧园北路10号,北京中教仪国际招标代理有限公司603室(中国教育报刊社院内)获取招标文件,并于2020年10月30日 14点00分(北京时间)前递交投标文件。

项目基本情况

项目编号:清设招第2020071号(0873-2001HW2L0110)

项目名称:清华大学涂胶显影一体机采购项目

预算金额:600.0000000 万元(人民币)

采购需求:

1.本次招标共 1 包:

包号

名称

数量

预算金额

(人民币)

1

涂胶显影一体机

1套

600万元

(1)本次招标、投标、评标均以包为单位,投标人须以包为单位进行投标,如有多包,可投一包或多包,但不得拆包,不完整的投标将被拒绝。

(2)本项目接受进口产品投标。

2.招标用途:

涂胶显影一体机用于对8英寸及6英寸直径的硅、玻璃、聚合物等材料基片进行光刻胶或聚合物材料的均匀涂覆并在光刻后进行显影,以达到后续光刻或键合等工艺的要求。

以上货物或服务的供应、运输、安装调试、培训及售后服务具体招标内容和要求,以本招标文件中商务、技术和服务的相应规定为准。

合同履行期限:详见采购需求

本项目( 不接受 )联合体投标。

半导体材料与器件.jpg

[来源:仪器信息网] 未经授权不得转载

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作者:KPC

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