山东淄博打造千亿MEMS产业园 突围国外专利封锁

8月25日下午，在淄博高新区MEMS产业基地二期项目，正在建设的各类建筑旁塔吊林立，一片热火朝天忙碌的景象。“这个项目的带动作用非常大，现在二期的区域已经远远无法满足需求。”淄博高新区电子信息产业园管委会项目部负责人崔长新介绍。

其实，这个大的园区是围绕着MEMS芯片展开的。

MEMS是一项革命性新技术，它将微型机构、控制电路、接口和电源等集成于一块或多块芯片上，不仅可以提高传感器性能，还能降低成本，是一项关系到国家科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。

基于MEMS技术生产出来的MEMS传感器，有着智能化、微型化、集成化、成本低、效能高、可大批量生产等优点，现已逐步取代传统机械传感器的主导地位，被广泛应用于消费电子、汽车制造、物联网、航空航天、医药化工等领域。

目前，MEMS传感器市场已被以博世为首的国外厂商垄断，并因MEMS传感器的高研发难度及其制造工艺的复杂性，形成了行业壁垒，加上国外MEMS传感器大厂具有产品线广、技术领先、客户众多的优势，所以国内MEMS传感器厂商一时难以突围。

正是旺盛的市场需求与相对薄弱的产业所形成的巨大反差，反而促使我国MEMS传感器企业加速发展，寻求突破，减少进口依赖。

在淄博高新区MEMS产业基地，中国MEMS产业打出了一个个突破点：清华大学研究员周斌研发的MEMS陀螺真空钎焊封装芯片，从设计到封装共有20多项发明专利，核心技术真空钎焊封装打破了国外垄断；加拿大滑铁卢大学崔波教授研发的原子力显微镜探针，精度达到原子级，实现了国产化，产品价格只有国外的三分之一……

MEMS产业基地是淄博高新区电子信息产业园的重要组成部分，占地448亩，建筑面积48.2万平方米。其中，二期占地298亩，建筑面积33.5万平米，现已全面开工，共建设6栋厂房，1、2号厂房7月底竣工，剩余厂房今年年底前竣工。园区围绕MEMS芯片、集成电路和半导体化合物等产业链上的设计、制造、封装、测试和应用企业，以产业组织理念，精准开展项目招引，目前已签约新科实业（TDK）、绿能芯创、宏荣电子、深圳麦姆斯、思科莱斯、航天四十四所等6个高端产业项目，预计项目建成后可实现年产值232亿元。

园区将依托“六个一”平台招引机制，聚集MEMS产业资源，建设国家级MEMS创新中心，着力打造全球领先的国际化MEMS产业示范基地和千亿级产业园区。