5月张江实验室200mm硅光专项采购设备/仪器11次超1亿元

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分享： 2018/05/31 18:58:20

导读： 5月份，张江实验室(中国科学院上海高等研究院)硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展项目接连进行一系列公开采购招标，预算总金额达1.19亿元。

　　仪器信息网讯 5月份，张江实验室(中国科学院上海高等研究院)硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展项目(以下简称“200mm硅光项目”)接连进行一系列公开采购招标，预算总金额达1.19亿元。采购内容主要为平台建设需要的半导体工艺设备及相关检测仪器，含多种显微镜及刻蚀、沉积设备等。

　　截止发稿前，200mm硅光项目共进行了11次招标，且其中已有一次招标项目近日完成2194.8 万元的中标。预计，还将会有一系列招标发布。

　　以下为11个招标项目信息整理列表：

招标项目	采购仪器/设备	数量	预算金额	开标时间
200mm硅光项目和成套工艺开发炉管等设备采购项目国际竞争性招标	氮化硅和氧化硅刻蚀设备、高温氮化硅介质膜热生长设备等	各1套	2216万元	06月01日
200mm硅光项目和成套工艺开发深紫外曝光设备等设备采购项目国际竞争性招标	晶圆涂胶和显影设备、深紫外线曝光设备	各1套	2640万元	06月01日
200mm硅光项目和成套工艺开发湿法刻蚀设备采购项目	晶圆片喷雾清洗设备、晶圆手动清洗设备、化学液供给设备	各1套	970万元	06月04日
200mm硅光项目和成套工艺开发硅刻蚀等设备采购项目国际竞争性招标重新招标	硅材料刻蚀设备、晶圆背面清洗设备	各1套	2710万元	06月06日
200mm硅光项目和成套工艺开发光学显微镜采购项目国际竞争性招标重新招标	光学显微镜	1套	52万元	06月08日
200mm硅光项目和成套工艺开发机械真空泵采购项目国际竞争性招标重新招标	机械真空泵	1套	260万元	06月08日
200mm硅光项目和成套工艺开发贴膜机采购项目国际竞争性招标重新招标	贴膜机	1套	300万元	06月11日
200mm硅光项目和成套工艺开发本地尾气处理设备采购项目国际竞争性招标重新招标	本地尾气处理设备	1套	500万元	06月12日
200mm硅光项目和成套工艺开发湿法刻蚀设备采购项目重新招标	晶圆片喷雾清洗设备、晶圆手动清洗设备、化学液供给设备	各1套	970万元	06月11日
200mm硅光项目和成套工艺开发干法去胶设备采购项目国际竞争性招标重新招标	干法去胶设备	1套	325万元	06月14日
200mm硅光项目和成套工艺开发光刻后测量设备采购项目国际竞争性招标重新招标	光刻后层与层间对准精度测量设备、图形尺寸测量扫描电镜	各1套	950万元	06月21日