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第二届电镜网络会议(iCEM 2016)特邀报告
聚焦离子束(FIB)技术在微纳米材料研究中的应用
彭开武 高级工程师
国家纳米科学中心纳米检测技术室
报告摘要：
聚焦离子束技术原理和功能，并围绕其在微纳米材料表征方面，介绍几个具体应用，包括：透射电镜样品制备、纳米材料的三维表征等，重点讨论用于微纳米材料电学性能测试的电极制作方法。
报告人简介：
彭开武，高级工程师。1999年开始在中国科学院电工研究所微纳加工研究室从事基于电镜(含扫描电镜与透射电镜)的电子束曝光机的研制工作。2003年以访问学者身份在英国卢瑟福实验室中央微结构中心从事微纳米器件工艺研究。2007年起至今在国家纳米科学中心纳米检测技术室从事聚焦离子束加工方面的工作。
报告时间：2016年10月25日上午
[来源：仪器信息网] 未经授权不得转载
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