核心参数
产地类别: 进口
衬底尺寸: 8英寸
工艺温度: 500
前驱体数: 6
重量: 350kg
尺寸(W x H x D): 146 cm x 146 cm x 84 cm
均匀性: 1%
仪器简介:
此产品广泛应用于:半导体、纳米材料、钠米科技、薄膜材料、薄膜沉积以及航空航天领域。
PICOSUN公司是一个国际化的设备制造商,在全球有销售和服务机构.我们开发和制造原子层沉积反应器用于微米和纳米技术应用。PICOSUN为客户提供用户友好,可靠及多产的ALD工艺工具,提供从研发到生产的工业放大。PICOSUN基地在芬兰的espoo,美国总部在Detroit。SUNALE型ALD工艺工具被用于欧州、美国及亚洲前沿的科学机构、公司。
PICOSUN拥有30多年在芬兰ALD反应器制造而得到的专业技术。Tuomo Suntola博士,于1974年发明了ALD技术,是PICOSUN董事会的成员。我们的首席技术官SVEN LINDFORS从1975年开始连续的设计ALD系统。综合起来讲,PICOSUN拥有了200多年的ALD经验并贡献了100多项ALD专利。我们悠久的历史和广泛的背景使PICOSUN成为ALD技术优质的合作伙伴。
技术参数:
技术指标
SUNALE™ R系列技术特点
基本特点:
晶片尺寸 2-6”, 50-150 mm (8’’ = 200 mm on request)
工艺温度 Up to 500°C
反应室体积 小型、中型、大型
反应室材料 316 SS, Ti, Ni, Al (quartz)
前驱体 2-6 气体 / 气体 / 固体
基片装载 气体升降
尺寸:
尺寸 27.6 x 41.3 x 36.4’’, 70 x 105 x 92.5 cm (W x H x D)
重量 200 kg
工况:
电源 100-240 V, 50/60 Hz, 1- or 3-phase, 3.7 kW Vac
真空泵 30-80 m3/h
载气 99.999 % N2 / Ar, min. 2 slm
压缩空气 4-5.5 bar 过压
冷却水 反应器不需要
排气 为真空泵及源橱柜配备
样品装载选项:
Picoloader™手动样品装载系统,带一个预真空室和闸阀
主要特点:
特点
多功能的反应器设计
全套的服务
用户单位
采购时间
采购数量
桂林电子科技大学
2016/06/11
1
中国科学院微电子所
2012/05/16
1
中国科技大学
2015/07/01
1
清华大学
2017/10/25
1
中科院广州能源所
2016/11/01
1
深圳大学
2015/01/06
1
南方科技大学
2018/09/20
1
中山大学
2013/06/15
1
北京大学
2019/05/10
1
华南理工大学
2008/06/16
1
Picosun原子层沉积R系列的工作原理介绍
原子层沉积R系列的使用方法?
PicosunR系列多少钱一台?
原子层沉积R系列可以检测什么?
原子层沉积R系列使用的注意事项?
PicosunR系列的说明书有吗?
Picosun原子层沉积R系列的操作规程有吗?
Picosun原子层沉积R系列报价含票含运吗?
PicosunR系列有现货吗?
更多
等离子增强原子层沉积系统沉积高均匀性和高保型性介电薄膜
★超薄,纳米尺度介电薄膜与金属/金属性薄膜是MEMS/NEMS器件、其它IC部件,传感器,光学器件或催化剂关键部件 ★IC业中的高精度30器件, 如高深宽比沟槽与穿透性硅通孔, ALO工艺是唯可以在这些器件上实现高保形,平整,无缺陷,无针孔的薄膜材料。 ★可规模化生产的ALO工艺, 几种金属/金属性材料与介电材料: Pt, Ir, Ru, Cu, Ag, Au, TiN, AIN, TiAIN, ln203与Al203. ★沉积工艺可选:传统热ALO或者等离子增强ALD。
电子/电气
2019/06/24
企业名称
广州竞赢化工科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91440101795540632T
成立日期
2006-12-11
注册资本
壹佰零捌万元整
经营范围
科技推广和应用服务业(具体经营项目请登录广州市商事主体信息公示平台查询。依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动.)
广州竞赢有限公司
公司地址
广州市天河区燕岭路25号1009室
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