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核心参数
产地类别： 国产
靶材材质： Pt, Au, Au/Pd, Pt/Pd
靶材尺寸： 57mm
控制方式： 自动
样品仓尺寸： 120mm X 75mm
样品台尺寸： 40mm
溅射气体： 空气和氩气
JY-S100PLUS 是一款桌上型冷态磁控溅射镀膜系统，标配旋转倾斜样品台，特别适用于各种表面形貌的非导电样品在扫描电镜成像中的高质量镀膜，也可满足电极镀膜，半导体等材料镀膜的要求。
主要特性
通过新型高效低压直流磁控头进行“超冷”溅射，避免样品表面受损；
对于近距离的样品，新型磁控管设计可提供广角覆盖溅射；
用于泄气、吹扫和排气的独立电磁阀设计，确保设备的快速运行；
喷镀电流控制不受样品室内气压影响，可得到一致的镀膜速率和镀膜效果。
可使用多种金属靶材：Pt, Au, Au/Pd, Pt/Pd（Pt 靶为标配），靶材更换快速方便。
技术参数
溅射系统 | |
| 靶材 | Pt 靶为标配，可选 Au，直径 57mm x 0.1mm 厚 |
| 标配旋转倾斜样品台 | 旋转速度：0~60rpm 连续可调，倾斜角度：-45°~ 45°连续可调； 不锈钢腔体：直径 120mm X 高 75mm； 观察窗：直径 120mm X 高 45mm； 标配旋转台直径 40mm，可放 4 个标准样品台，其它规格可订做；具有双重锁紧装置，可确保样品在旋转倾斜时不会松动脱落。 |
| 溅射电流 | 微处理器控制，安全互锁，电流 0~40mA |
| 溅射头 | 新型低电压磁控管设计，靶材更换快速，环绕暗区护罩 |
| 计量表 | 真空： Atm - 1*10-3mbar，电流：0~99mA |
控制方法 | 带有“开始”“暂停”按钮的微处理控制器（1－999s），自动抽气、溅射、关机后自动放气。 |
真空系统 | |
| 抽气速率 | 133L/MIN |
| 极限真空 | 10-4 mbar 级 |
| 噪音 | 56dB |
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企业名称
广州竞赢化工科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91440101795540632T
成立日期
2006-12-11
注册资本
壹佰零捌万元整
经营范围
科技推广和应用服务业(具体经营项目请登录广州市商事主体信息公示平台查询。依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动.)
广州竞赢有限公司
公司地址
广州市天河区燕岭路25号1009室
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