核心参数
产地类别: 进口
150R S Plus– 紧凑型机械泵溅射仪,适合非氧化金属
150R E Plus– 紧凑型机械泵镀碳仪
150R ES Plus–集成了离子溅射和碳蒸镀两种沉积功能的紧凑型机械泵镀膜仪
新款改进
● 触摸屏更换成便于操作的电容触摸屏
● 固件更新,新版操作界面类似安卓系统,便于客户上手
● 新的彩色LED可视状态指示灯
● USB接口可以用于固件更新,并可将镀膜方案文件备份/复制到USB存储设备
● 可以通过USB端口以.csv格式导出过程日志文件,以便统计分析
主要特点:
● 金属溅射或碳蒸发一体化设计,节省空间
● 适合FE-SEM制样的精细镀膜和薄膜应用
● 涡轮分子泵高真空系统,适合不氧化贵金属和易氧化其它金属靶材
● 全自动触摸屏控制,快速数据输入,操作简单
● 可储存多个客户自定义镀膜方案:对多用户实验室十分理想
● 预编程自动真空控制
● 使用膜厚监控选件精确控制膜厚
● 智能系统识别,自动感知用户所插入镀膜头的类型
● 高真空碳蒸镀,对SEM和TEM镀碳膜应用非常理想
● 先进的碳棒蒸镀枪设计和电流控制技术,操作简单,重现性好
● Drop-in式快速换样品台(标配旋转台)
● 真空闭锁功能,让工作腔室在待机使用时亦处于真空状态
● 不破坏真空条件下的溅射时间可长达60分钟,适合材料科研应用
● 人体工程学设计,整体成型机壳,维护、拆装容易
技术参数:
● 工作腔室:165mm外径 x 127mm高
● 触摸屏全图像用户界面
● 靶材:标配直径57mm x 厚0.1mm Au靶
● 样品台:标配旋转台,直径60mm,转速8-20 rpm ,可选配旋转倾斜台。
● 真空系统:双程旋转机械泵
● 极限真空度:2 x 10-2mbar
● 溅射真空度: 3 x 10-2 mbar与5 x 10-1mbar之间
● 溅射电流:0-80mA
● 溅射时间:最长60分钟
● 碳蒸发:稳定的无纹波直流电源控制的脉冲蒸发,确保碳棒可重复蒸碳,电流脉冲1~90A。
● 尺寸和重量:仪器机箱585mm宽x 470mm长 x 410mm高 (总高: 650mm)
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企业名称
广州竞赢化工科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91440101795540632T
成立日期
2006-12-11
注册资本
壹佰零捌万元整
经营范围
科技推广和应用服务业(具体经营项目请登录广州市商事主体信息公示平台查询。依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动.)
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广州市天河区燕岭路25号1009室
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