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上海麦科威半导体技术有限公司

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电子束蒸发镀膜机

品牌： 矽碁科技
产地： 韩国
型号： EB-400
报价： ¥1
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核心参数

仪器种类： 电子束蒸发镀膜机

产地类别： 进口

应用领域： 微电子学

基片尺寸： 4-8寸

基片温度范围： 350度

成膜厚度均匀性： 2%

极限真空： 10-7torr

产品介绍


电子束蒸发系统是化合物半导体器件制作中的一种重要工艺技术；它是在高真空状态下由电子束加热坩埚中的金属，使其熔融后蒸发到所需基片上形成金属膜。可蒸发很多难熔金属或者蒸汽压低的金属材料，包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…

技术参数：
1. 蒸发室尺寸：24"×24"×21"；

2. 极限真空度：≤5×10-7托；

3. 电子枪功率： 5-10千瓦可调；

4. 蒸发速率：可由晶体振荡器监控厚度和沉积速率；

5. 可蒸发金属膜Al,Ti,Pt,Au,Ag,Cu,NiCr等；

6. 膜厚度误差 ≤±2%，膜厚均匀性误差 ≤±2% 。



主要特点：
1. 安全简易的软件操作系统，四个不同级别的用户权限（操作、工艺、工程师以及维修保养）较大限度的保证系统的安全。


2. 双腔设计：蒸发材料和晶片分别处于不同的腔体中，使得源材料的更换和晶片的装载过程中最大限度的保证腔体的洁净程度和缩短抽真空的时间。

3. 较大的前腔门使得在维修和保养的过程中极为方便。

4. 采用卫星旋转式晶片装载夹具，可以根据不同的产量的需要升级晶片直径或增加夹具的数量。卫星旋转式夹具保证了沉积薄膜的均匀性。


 参考用户：
 深圳大学；兰州理工大学；广东工业大学；厦门大学；华中科技大学；重庆微纳研究院；江南大学；


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矽碁科技物理气相沉积EB-400报价含票含运吗？

矽碁科技EB-400有现货吗？

工商信息

企业名称

上海麦科威半导体技术有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91310112MAE0AUKG7R

成立日期

2024-09-23

注册资本

人民币100.0000万元整

经营范围

一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;仪器仪表修理;日用电器修理;专用设备修理;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);信息技术咨询服务;软件开发;科技中介服务;组织文化艺术交流活动;会议及展览服务;安全咨询服务;信息系统集成服务;市场营销策划;半导体分立器件销售;半导体照明器件销售;半导体器件专用设备销售;电子元器件批发;电子元器件零售;光电子器件销售;仪器仪表销售;光学仪器销售;智能仪器仪表销售;电子产品销售;电子专用材料销售;电子专用设备销售;电力电子元器件销售;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;电子真空器件销售;通信设备销售;机械设备销售;网络设备销售;计算机软硬件及辅助设备批发;计算机软硬件及辅助设备零售;互联网销售(除销售需要许可的商品);办公用品销售;金属材料销售;电气设备销售;通讯设备销售;货物进出口;技术进出口。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)

联系方式

上海麦科威半导体技术有限公司

公司地址

上海闵行区元江路5500号第1幢508室

客服电话

400-860-5168转6289
上海麦科威半导体技术有限公司为您提供矽碁科技电子束蒸发镀膜机EB-400，矽碁科技EB-400产地为韩国，属于进口物理气相沉积设备，除了电子束蒸发镀膜机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多物理气相沉积设备,上海麦科威客服电话400-860-5168转6289，售前、售后均可联系。
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公司地址： 上海闵行区元江路5500号第1幢508室 联系人： Mango 邮编： 226400 联系电话： 400-860-5168转6289

主营产品：

薄膜应力测试仪 离子注入机 划片机 纳米压印设备 物理气相沉积设备 退火炉 无掩模光刻机/直写光刻机 键合机

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