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PLD脉冲激光沉积系统(美国NBM)

品牌: NBM
产地: 美国
型号: PLD-300
报价: 面议
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核心参数

仪器种类: 其他

产地类别: 进口

应用领域: 微电子学

基片尺寸: 8寸

极限真空: 10-7torr

产品介绍

脉冲激光沉积系统-PLD

型号:AP-PLD230

 

脉冲激光沉积系统(PLD)是将脉冲激光导入真空腔内照射到成膜靶上,靶被照射后吸收高密度能量而形成的plume状等离子体状态,然后被堆积到设在对面的基板上而成膜。PLD方法可以获得拥有热力学理论上准稳定状态的组成和构造的人工合成薄膜材料

 

我们PLD系统拥有最好的性能价比, 用户用最少的钱买到研究级高性能的纯进口PLD系统。

技术参数配置:

1.: 数量6个,大小1-2英寸,被激光照射时可自动旋转,靶的选择可通过步进电机控制;

2.基板:采用适合于氧气环境铂金加热片,大小2英寸,加热温度可达1200摄氏度,温度差<3%,加热时基板可旋转,工作环境最大压力是300mtorr;

3.基板加热电源,最高到1200;

4.超高真空成膜室腔体:不锈钢sus304材质,内表面电解抛光,本底真空度<5e-7 Torr;

5.样品传输:不锈钢sus304材质,内表面电解抛光,本底真空度<5e-5 pa;

6.排气系统:分子泵和干式机械泵;

7.阀门: 采用超高真空挡板阀;

8.真空检测:真空计;

9.气路两套: 采用气体流量计控制;

10.薄膜生长监控系统: 采用扫描型差分RHEED;

11.监控软件系统:基板温度的监控和设定,基板和靶的旋转,靶的更换等;

12.各种电流导入及测温端子;

13.其它各种构造:各种超高真空位移台,磁力传输杆,超高真空法兰,超高真空密封垫圈,超高真空用波纹管等;

 


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NBM物理气相沉积PLD-300的工作原理介绍

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工商信息

企业名称

上海麦科威半导体技术有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91310112MAE0AUKG7R

成立日期

2024-09-23

注册资本

人民币100.0000万元整

经营范围

一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;仪器仪表修理;日用电器修理;专用设备修理;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);信息技术咨询服务;软件开发;科技中介服务;组织文化艺术交流活动;会议及展览服务;安全咨询服务;信息系统集成服务;市场营销策划;半导体分立器件销售;半导体照明器件销售;半导体器件专用设备销售;电子元器件批发;电子元器件零售;光电子器件销售;仪器仪表销售;光学仪器销售;智能仪器仪表销售;电子产品销售;电子专用材料销售;电子专用设备销售;电力电子元器件销售;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;电子真空器件销售;通信设备销售;机械设备销售;网络设备销售;计算机软硬件及辅助设备批发;计算机软硬件及辅助设备零售;互联网销售(除销售需要许可的商品);办公用品销售;金属材料销售;电气设备销售;通讯设备销售;货物进出口;技术进出口。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)

联系方式
上海麦科威半导体技术有限公司为您提供PLD脉冲激光沉积系统(美国NBM)PLD-300,NBMPLD-300产地为美国,属于进口物理气相沉积设备,除了PLD脉冲激光沉积系统(美国NBM)的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多物理气相沉积设备,上海麦科威客服电话400-860-5168转6289,售前、售后均可联系。
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