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上海麦科威半导体技术有限公司

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当前位置： 上海麦科威 > 等离子体刻蚀设备 > Axic反应离子刻蚀RIE，等离子增强化学气相沉积PECVD

Axic反应离子刻蚀RIE，等离子增强化学气相沉积PECVD

品牌： 埃斯科
产地： 美国
型号： AXIC BenchMark 800
报价： 面议
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核心参数

刻蚀原理： 等离子体刻蚀

产地类别： 进口

产品介绍

AXIC基准800®蚀刻和沉积

具有成本效益的等离子体处理系统，用于反应离子蚀刻和/或等离子体增强化学气相沉积

Axic公司的基准800等离子体处理系统在RIE和PECVD等离子体处理系统中定义了一个新概念。该系统基于模块化设计，从通用腔室和机柜单元开始，具有Planar, RIE和PECVD电极模块，可轻松安装到腔室单元中。我们相信您会发现基准800-II®的易用性，各种等离子工艺，可维护性和有吸引力的价格是市场上任何其他等离子产品所无法超越的。


系统描述

在等离子体加工的研究和发展中，一直非常需要一种高度通用和可靠的工具。随着等离子体研究需求的不断变化，所选择的系统必须提供最广泛的工艺参数，工艺验证的高度可重复性，并且必须易于修改以满足新的工艺要求。我们相信BenchMark 800®系列干法处理系统可以满足这些非常苛刻的要求。BenchMark 800®是一种等离子体工具，用于研究、工艺开发或小批量生产，可在直径达8英寸的基板上进行精确蚀刻和沉积。该系统可以在批处理或单片模式下运行。在设计基准800®时，主要指令是创建一个系统，该系统结合了专用生产导向系统的质量，可靠性，可重复性和过程控制能力，同时大大降低了成本，维护和占地面积要求。BenchMark 800-II®独特的机柜和电极设计可以轻松安装在层流模块或洁净室中。经过验证的高质量组件、模块化子组件、通用腔室和电极设计、紧凑的尺寸、自动化和经过现场验证的工艺配方，使Axic公司的BenchMark 800®成为等离子工程师的“首选系统”。


特性

单件式室结构

原位电极间距(PECVD版本)

可更换的气体淋浴喷头

经过验证的工艺配方

战地组件

端点检测(选项)

多种电极配置

自动射频匹配

下游压力控制(可选)

计算机控制与Windows编程

多种泵送选择:机械，机械/鼓风机，涡轮

单室和双室版本


售后服务
产品货期： 200天
整机质保期： 1年
培训服务： 安装调试现场免费培训
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埃斯科等离子体刻蚀AXIC BenchMark 800的工作原理介绍

等离子体刻蚀AXIC BenchMark 800的使用方法?

埃斯科AXIC BenchMark 800多少钱一台?

等离子体刻蚀AXIC BenchMark 800可以检测什么？

等离子体刻蚀AXIC BenchMark 800使用的注意事项？

埃斯科AXIC BenchMark 800的说明书有吗？

埃斯科等离子体刻蚀AXIC BenchMark 800的操作规程有吗？

埃斯科等离子体刻蚀AXIC BenchMark 800报价含票含运吗？

埃斯科AXIC BenchMark 800有现货吗？

工商信息

企业名称

上海麦科威半导体技术有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91310112MAE0AUKG7R

成立日期

2024-09-23

注册资本

人民币100.0000万元整

经营范围

一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;仪器仪表修理;日用电器修理;专用设备修理;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);信息技术咨询服务;软件开发;科技中介服务;组织文化艺术交流活动;会议及展览服务;安全咨询服务;信息系统集成服务;市场营销策划;半导体分立器件销售;半导体照明器件销售;半导体器件专用设备销售;电子元器件批发;电子元器件零售;光电子器件销售;仪器仪表销售;光学仪器销售;智能仪器仪表销售;电子产品销售;电子专用材料销售;电子专用设备销售;电力电子元器件销售;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;电子真空器件销售;通信设备销售;机械设备销售;网络设备销售;计算机软硬件及辅助设备批发;计算机软硬件及辅助设备零售;互联网销售(除销售需要许可的商品);办公用品销售;金属材料销售;电气设备销售;通讯设备销售;货物进出口;技术进出口。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)

联系方式

上海麦科威半导体技术有限公司

公司地址

上海闵行区元江路5500号第1幢508室

客服电话

400-860-5168转6289
上海麦科威半导体技术有限公司为您提供埃斯科Axic反应离子刻蚀RIE，等离子增强化学气相沉积PECVDAXIC BenchMark 800，埃斯科AXIC BenchMark 800产地为美国，属于进口等离子体刻蚀设备，除了Axic反应离子刻蚀RIE，等离子增强化学气相沉积PECVD的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多等离子体刻蚀设备,上海麦科威客服电话400-860-5168转6289，售前、售后均可联系。
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公司地址： 上海闵行区元江路5500号第1幢508室 联系人： Mango 邮编： 226400 联系电话： 400-860-5168转6289

主营产品：

薄膜应力测试仪 离子注入机 划片机 纳米压印设备 物理气相沉积设备 退火炉 无掩模光刻机/直写光刻机 键合机

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