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天津吉兆源科技有限公司
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产品介绍
其它参数
微波功率：100W-3000W
运行气压范围：0.06-20 Torr
是一种用于产生等离子体的装置，通常被用于在真空环境中进行表面处理、材料改性、薄膜沉积等工艺，以及半导体刻蚀和薄膜设备的预处理反应和清洗等。与传统等离子体源不同的是，RPS通常不直接接触要处理的表面，而是在一定距离之外产生等离子体，并将等离子体输送到目标表面，因此被称为“远程等离子体源”。
应用特征
采用新的固态微波源技术【非磁控管微波源】。具有很高的频率、功率稳定性，使用寿命长。
自主开发的微波匹配器，能实现在不同气体条件下，快速进行微波源与等离子体的阻抗匹配。
等离子体发生器材质可选，适用于多种气体。
体积小、集成度高、便于更换。低颗粒污染;
独特的等离子反应腔设计，适用于多种气体的电离与阻抗匹配。
系统运行时，气体压力适应范围宽。气体电离率高、电离速度快。
售后服务
产品货期：
7天
整机质保期：
1年
培训服务：
安装调试现场免费培训
工商信息
企业名称
天津吉兆源科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91120116MA06FD8A2G
成立日期
2018-10-08
注册资本
贰佰万元人民币
经营范围
科学研究和技术服务业;商务服务业;批发和零售业;货物或技术进出口(国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外):自动化控制系统装置、机械零配件、电子元器件、仪器仪表、工业自动化专用设备、电池制造.(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
天津吉兆源科技有限公司为您提供吉兆源远程等离子体源（Remote Plasma Source，RPS），吉兆源RPS产地为天津，属于其他，除了远程等离子体源（Remote Plasma Source，RPS）的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多其他,吉兆源科技客服电话，售前、售后均可联系。
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