产品性能
该射频电源采用E类放大器,实现效率高、高可靠性。大的冗余设计,使其具有长期满功率输出能力。特殊的滤波网络,实现波形的纯净。谐波性能优越,可承受开路、短路等极端冲击。大屏幕液晶显示:设定功率、入射功率、反射功率、状态等参数
产品性能
该电源可以作为射频驱动等离子体系统的电源。应用对象包括:刻蚀、PECVD、磁控溅射、ICP等 。
控制方式
该电源控制方式多样:RS232、RS485、DeviceNet和模拟口等方式。
企业名称
天津吉兆源科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91120116MA06FD8A2G
成立日期
2018-10-08
注册资本
贰佰万元人民币
经营范围
科学研究和技术服务业;商务服务业;批发和零售业;货物或技术进出口(国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外):自动化控制系统装置、机械零配件、电子元器件、仪器仪表、工业自动化专用设备、电池制造.(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)