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天津吉兆源科技有限公司
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产品介绍
其它参数
工作稳定度：≤±0.5%
输出频率：13.56MHz
频率信号：标准正弦波
输出阻抗：50Ω
冷却方式：水冷
应用于等离子体真空系统，具有高可靠性的电源
产品性能
该射频电源输出功率可达2500W到5000W ，频率13.56MHz，标准正弦波。该系列电源具有功率输出精度高、稳定、可重复等优点。其固态设计使得该产品价格低、可靠性高。电源采用大屏幕液晶显示：设定功率、入射功率、反射功率、状态等参数，同时还可以显示匹配器的运行参数并且通过电源面板可操作射频匹配器。
应用对象
该电源可以作为射频驱动等离子体系统的电源，该系统可应用于半导体工业。应用对象包括：刻蚀、RIE、平行板、ICP、磁控溅射、CVD、PVD、等离子清洗和PECVD等系统。
售后服务
产品货期：
7天
整机质保期：
1年
培训服务：
安装调试现场免费培训
工商信息
企业名称
天津吉兆源科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91120116MA06FD8A2G
成立日期
2018-10-08
注册资本
贰佰万元人民币
经营范围
科学研究和技术服务业;商务服务业;批发和零售业;货物或技术进出口(国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外):自动化控制系统装置、机械零配件、电子元器件、仪器仪表、工业自动化专用设备、电池制造.(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
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