自动金属剥离机METAL LIFT OFF M+100-L

主要特点：

线性布局，自动传片，自动完成去胶工艺。

晶圆尺寸根据用户需求。

腔体共有三层，每层都有单独的药液排放 循环功能。

清洗多种金属颗粒和有机物残留。

药液在循环中，根据颗粒大小配备相应过滤系统。

药液恒温，或在线加热供给功能。

一、适应的药液有以下几种：

• NMP液体--高温高压

• DMSO液体--高温高压

• IPA液体

• DI-water

二、功能选择：

• 片盒到片盒

• 进口机械手

• CHAMBER采用耐酸碱材质

• 分层药液排放，省液，提供了生产率

• 自动供液、补液

• 剥离（lift off）适应化学药液——NMP是N-甲基吡咯烷酮，一种有机物。是高压供给药液，高温药液。避免暴露，密封保存。优良高级溶剂，是选择性强和稳定性好的极性溶剂。高精密电子、电路板、锂电池的优良清洗剂。

• NMP液体--高温高压  DMSO液体--高温高压去胶剥离机
  半导体工艺中的撕金剥离工艺
  功能有：浸泡槽-高压腔-清洗腔
  浸泡槽功能有：加热-超声-晃动功能
  高压腔：在线加热，常压喷嘴
  清洗腔：可选超声波功能，BRUSH功能

• 拓展小知识——Auto Strip-自动剥离机产品特点：

• 线性布局，自动传片，自动完成去胶工艺。
  晶圆尺寸根据用户需求。
  腔体共有三层，每层都有单独的药液排放 循环功能。
  清洗多种金属颗粒和有机物残留。
  药液在循环中，根据颗粒大小配备相应过滤系统。
  药液恒温，或在线加热供给功能。

• 一、适应的药液有以下几种：

• NMP液体--高温高压

• DMSO液体--高温高压

• IPA液体

• DI-water

• 二、功能选择：

• 片盒到片盒

• 进口机械手

• CHAMBER采用耐酸碱材质

• 分层药液排放，省液，提供了生产率

• 自动供液、补液。