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核心参数
产地类别: 国产
应用领域: 半导体匀胶显影
主要用途: 主要用半导体工艺生产中烘烤晶圆等(如:涂胶/显影/光刻等工艺之后的烘烤)
一、主要技术规格:
1. 适应2〞~8〞晶圆烘烤
2. 热板温度: 60℃-300℃(温度为150℃以上请勿合盖)
3. 温度均匀性: ±1℃(Φ200mm以内区域)
4. 手动开关炉盖及放取硅片
5. 电子定时: 1分钟-99小时99分钟,功率1000W
6. 烘烤方式:接触式烘烤晶片及多工位接近式烘烤
二、主要结构和工作原理
该热板炉主要由热板、管式加热器、温控仪、J 型热电偶、固态继电器、时间继电器等组成,
本系统是一种闭环自动反馈控制系统,通过PID调节,求得系统温度控制精度。
三、安装
1.本系统应安放在水平台面上,将机箱外的电源插座内
2.外形尺寸:(L×W×H)280mm×300mm×400mm.
企业名称
陕西爱姆加电子设备有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
916100005778279854
成立日期
2011-07-12
注册资本
伍佰万元人民币
经营范围
半导体设备、半导体材料、电子产品、机械零配件、仪器仪表、专用机床、力学、测量检测设备、化学抛光设备的技术开发及服务;薄膜电路生产;光纤照明设备、环境试验设备的生产及销售.(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
公司地址
陕西省西安市西咸新区空港新城中南高科西安临空产业港7号楼2单元
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公司名称: 陕西爱姆加电子设备有限公司
公司地址: 陕西省西安市西咸新区空港新城中南高科西安临空产业港7号楼2单元 联系人: 周经理 邮编: 712000
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