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陕西爱姆加电子设备有限公司

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热板炉

产地: 陕西
型号: M+HP200
报价: ¥200万
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核心参数

产地类别: 国产

应用领域: 半导体匀胶显影

产品介绍

主要用途: 
主要用半导体工艺生产中烘烤晶圆等(如:涂胶/显影/光刻等工艺之后的烘烤)

一、主要技术规格:

1. 适应2〞~8〞晶圆烘烤

2. 热板温度:  60℃-300℃(温度为150℃以上请勿合盖)

3. 温度均匀性: ±1℃(Φ200mm以内区域)

4. 手动开关炉盖及放取硅片

5. 电子定时:  1分钟-99小时99分钟,功率1000W

6. 烘烤方式:接触式烘烤晶片及多工位接近式烘烤

二、主要结构和工作原理

该热板炉主要由热板、管式加热器、温控仪、J 型热电偶、固态继电器、时间继电器等组成,

本系统是一种闭环自动反馈控制系统,通过PID调节,求得系统温度控制精度。

三、安装

1.本系统应安放在水平台面上,将机箱外的电源插座内

2.外形尺寸:(L×W×H)280mm×300mm×400mm.



售后服务
产品货期: 180天
整机质保期: 3年
培训服务: 提供付费培训
安装调试时间: 到货后3天内
电话支持响应时间: 12小时内
是否提供维保合同:
维修响应时间: 7天内
工商信息

企业名称

陕西爱姆加电子设备有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人投资或控股)

信用代码

916100005778279854

成立日期

2011-07-12

注册资本

伍佰万元人民币

经营范围

半导体设备、半导体材料、电子产品、机械零配件、仪器仪表、专用机床、力学、测量检测设备、化学抛光设备的技术开发及服务;薄膜电路生产;光纤照明设备、环境试验设备的生产及销售.(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)

联系方式
陕西爱姆加电子设备有限公司为您提供爱姆加电子热板炉M+HP200,爱姆加电子M+HP200产地为陕西,属于国产涂胶显影设备,除了热板炉的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多涂胶显影设备,爱姆加电子客服电话,售前、售后均可联系。

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公司地址: 陕西省西安市西咸新区空港新城中南高科西安临空产业港7号楼2单元 联系人: 周经理 邮编: 712000

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