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核心参数
产品类别： 温控探针台
操作类型： 半自动
可测圆片尺寸： 8-12寸
CPX低温探针台采用模块化设计以满足广泛实验的需求，是Lake Shore功能最多的高性能低温探针台。CPX多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。CPX具有多个防辐射屏蔽层，以实现优异的低温性能，其低温选件可使样品温度低至1.6 K。探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。
由于采用了分流设计，样品可在防辐射屏冷却时保持温度，与高真空选件，最大限度地减少了冷却过程中的样品冷凝，这是测量亲水性有机材料的关键要求。理想的应用包括有机物研究和微波测量。真空Load Lock可配置用于高通量测量。此外，CPX可以被配置为能够在真空下将受控的样品输送到腔室。CPX可容纳直径为51 mm（2英寸）的晶圆（最多102 mm[4英寸]可选）。该系统使用液氦或液氮运行。
主要特征：
√ 温度范围4.3 K~475 K
√ 可选低温1.9 K/1.6 K
√ 标准2英寸（51 mm）样品，4英寸（102 mm）可定制
√ 样品可面内±5°旋转
√ 样品振动＜30 nm可选
√ 超高真空选件
√ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境
√ 环形磁体选件最大0.19T
设备参数：
| 温度范围 | ||
| 最多安装6个探针臂 | 基础温度4.3 K，控制范围4.4 K ~ 475 K | |
| 安装PS-LT低温选件 | 基础温度1.9 K，控制范围2 K ~ 475 K | |
| 安装PS-VLT-CPX极低温选件 | 基础温度1.6 K，控制范围1.65 K ~ 400 K | |
| 安装PS-LL-CPX选件（Load Lock） | 基础温度10 K，控制范围10 K ~ 400 K | |
| 温度稳定性 | 液氦 | 液氮 |
| 基础温度 (无加热控制) | ±15 mK | ±20 mK |
| <10 K | ±50 mK | — |
| 10 K ~ 100 K | ±20 mK | ±50 mK |
| 101 K ~ 250 K | ±15 mK | ±50 mK |
| 251 K ~ 350 K | ±15 mK | ±100 mK |
| 351 K ~ 675 K | ±50 mK | ±100 mK |
| 真空 | 以TPS-FRG分子泵组为标准 | PS-HV-CPX高真空选件 |
| 抽真空时间 | 30 min (<1 × 10-3 Torr) | 10 min (<1 × 10-3 Torr) |
| 室温 | <5 × 10-4 Torr | <5 × 10-6 Torr |
| 基础温度 | <1 × 10-5 Torr | <5 × 10-7 Torr |
| 最高温度 | <1 × 10-5 Torr | <5 × 10-7 Torr |
| 循环时间 | ||
| 总循环 | 3 h | |
| 抽真空 | 0.5 h | |
| 探针台冷却 | 1.25 h | |
| 探针台升温 | 2 h | |
| Load Lock样品更换时间 | 1小时（配有PS-LL-CPX选件） | |
| 样品 | ||
| 最大尺寸 | 51 mm（2英寸）标准 | |
| 25.4 mm（1英寸）安装PS-VLT-CPX高真空选件 | ||
| 25.4 mm（1英寸）安装PS-LL-CPX Load Lock选件 | ||
| 样品背光接口 | 不可选 | |
| 样品旋转 | ±5°面内旋转 | |
| 样品振动 | ＜300 nm标准，＜30 nm配有PS-PVIS减震选件 | |
| 探针配置 | ||
| 最大探针数 | 6 | |
| 探针臂温度计 | 用于监视探针臂的温度 | |
| 冷却探针支架 | ＜20 K(样品在基础温度下) | |
| 探针支架 | 连接样品台或4K防辐射屏热沉 | |
| 探针臂支架 | 连接防辐射屏热沉 | |
| DC/RF探针 | 电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量 | |
| 微波探针 | 频率范围从DC到67GHz | |
| 光纤探针 | 可用于电光测量 | |
| 落针范围 | 所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针 | |
Lake Shore探针台CPX的工作原理介绍
探针台CPX的使用方法?
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企业名称
南通宏腾微电子技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91320602MACC00FA7D
成立日期
2023-03-17
注册资本
100万元整
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让技术推广;软件开发;软件销售;人工智能基础软件开发;工业机器人安装、维修;智能机器人销售;工业机器人销售;智能机器人的研发:人工智能硬件销售;通用设备修理;电子产品销售;信息系统集成服务;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;集成电路设计:电子元器件零售;专业设计服务;电力电子元器件销售;光学仪器销售;仪器仪表修理;仪器仪表销售;智能控制系统集成;人工智能行业应用系统集成服务;办公设备耗材销售;计算机软硬件及辅助设备零售:机械设备销售;电子元器件与机电组件设备销售:电工仪器仪表销售;机械零件、零部件销售;电气设备修理;普通机械设备安装服务;电子、机械设备维护(不含特种设备):智能仪器仪表销售:工业自动控制系统装置销售;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);办公设备销售;高速精密齿轮传动装置销售;工业设计服务;互联网销售(除销售需要许可的商品):金属制品销售:电机及其控制系统研发:微特电机及组件销售;五金产品零售,日用百货销售(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)
南通宏腾微电子技术有限公司
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