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核心参数
产地类别： 进口
JBX-6300FS的电子光学系统在100kV的加速电压下能自动调整直径为（计算值）2.1nm的电子束，简便地描画出线宽在8nm以下（实际可达5nm）的图形。 此外，该光刻系统还实现了9nm以下的场拼接精度和套刻精度，性能比优越。 利用最细电子束束斑（实测值直径≦2.9nm）可以描画8nm以下(实际可达5nm)极为精细的图形。
产品规格：
电子枪 | ZrO/W 肖特基型 |
描画方式 | 描画方式 |
加速电压 | 25kV (选配), 50kV, 100kV |
样品尺寸 | 最大200mmΦ的晶圆片, 最大 5英寸或 6英寸的掩模版, 任意尺寸的的微小样品。 |
样品尺寸 | 2000μmＸ2000μm |
样品台移动范围 | 190mmX170mm |
套刻精度 | ≦±9nm |
场拼接精度 | ≦±9nm |
扫描速度 | 最大 50MHz |
产品特点：
· JBX-6300FS的电子光学系统在100kV的加速电压下能自动调整直径为（计算值）2.1nm的电子束，简便地描画出线宽在8nm以下（实际可达5nm）的图形。
· 此外，该光刻系统还实现了9nm以下的场拼接精度和套刻精度，性能比优越。
· 利用最细电子束束斑（实测值直径≦2.9nm）可以描画8nm以下(实际可达5nm)极为精细的图形。本公司独特的ＤＦ/DS系统能对电子束偏转产生的畸变进行校正，具有球差和象散自动补偿功能，可在场边角、场边界处进行高精度地描画。
· 该系统采用了19位DAC和样品台控制精度为0.6nm的激光干渉仪，实现了业界最高水准的位置精度、拼接、套刻精度（±9nm）。 可用于位置精度要求很高的光子器件、通信设备等领域的研究和开发。
· 本公司独自的自动校正功能(自动补偿功能)，实现了可信赖的长时间稳定地描画。自动补偿可以根据时间（任意的）、场和图形进行分别设定，非常适合于周末及休假等无人值守等情况下的长时间描画。
· 最大扫描速度高达50MHz，再加上最大程度地抑制了机器的准备操作时间，因此缩短了描画时间，到描画开始为止的作业非常简单，聚焦也能够自动进行，因而能提高总产出量。
· 使用自动装载系统（选配），最多可以连续描画10个样品架。（例：可连续描画10张6英寸的晶圆片或者40张2英寸的晶圆片等。※连续描画时，需要和材料数相应的样品架。）目前在日本国内外已有这样的生产线。
· 利用微间距控制程序（场尺寸精调程序），可以制作DFB激光器等的啁啾光栅。
日本电子有掩模光刻机JBX-6300FS的工作原理介绍
有掩模光刻机JBX-6300FS的使用方法?
日本电子JBX-6300FS多少钱一台?
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企业名称
南通宏腾微电子技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91320602MACC00FA7D
成立日期
2023-03-17
注册资本
100万元整
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让技术推广;软件开发;软件销售;人工智能基础软件开发;工业机器人安装、维修;智能机器人销售;工业机器人销售;智能机器人的研发:人工智能硬件销售;通用设备修理;电子产品销售;信息系统集成服务;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;集成电路设计:电子元器件零售;专业设计服务;电力电子元器件销售;光学仪器销售;仪器仪表修理;仪器仪表销售;智能控制系统集成;人工智能行业应用系统集成服务;办公设备耗材销售;计算机软硬件及辅助设备零售:机械设备销售;电子元器件与机电组件设备销售:电工仪器仪表销售;机械零件、零部件销售;电气设备修理;普通机械设备安装服务;电子、机械设备维护(不含特种设备):智能仪器仪表销售:工业自动控制系统装置销售;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);办公设备销售;高速精密齿轮传动装置销售;工业设计服务;互联网销售(除销售需要许可的商品):金属制品销售:电机及其控制系统研发:微特电机及组件销售;五金产品零售,日用百货销售(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)
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