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核心参数
产品类别： RF探针台
操作类型： 手动
可测圆片尺寸： 6
迈锐
MPS系列磁探针站是目前市场上唯一能够提供任意二维或三维外加磁场方向的探针站，是自旋电子器件表征和自旋电子研究的终极解决方案。
MPS系列磁探头站是市场上唯一提供晶圆级矢量磁场探测的探头站，使这些系统非常适合在生产环境中测试自旋电子和磁电子设备。
完全可定制的、开源的、基于labview的控制软件，可轻松集成最常见的测试和测量设备。
可提供高分辨率微定位器，配有40,80,100和200TPI螺钉，可用于微米级探针定位。
收集和/或分析的数据具有广泛的输出格式和可用选项。
系统提供三维霍尔探头，通过闭环控制提供无与伦比的稳定性和应用磁场的准确性。
MPS-C-300和MPS-C-350磁探头系统是世界上第一个能够在被测设备周围提供三维磁场控制的探头站。
MicroXact真正独特的正在申请专利的设计使自旋电子器件，纳米级电子器件以及许多其他需要磁场进行精确测试和测量的材料和器件的晶圆级测试成为可能。自旋电流和自旋转矩振荡器测试，磁模拟和复杂多层结构的各向异性识别只是我们的MPS系统应用的几个例子。
磁场可以以三种模式被任意控制:固定的值, 线性扫描, 或者用户可以自定义。
· Wafer size：10mm，可升到200mm
· 磁场：方向任意三维大6kOe (0.6T)
· 定向精度+/- 1.0
· 在10mm直径范围内的均匀性+/- 2%
· 稳定性优于0.1%
· 频率范围：DC to ~ 67GHz
· 分辨率：200mG
· CHUNK: Isolated, grounded or coaxial.
· 运动范围:100mm x 100mm
· 集成MPS系列软件，可在完全可控的三维磁场中快速、简便地捕获图像/视频。
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