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核心参数
产地类别： 国产
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●设备主要由真空腔体、真空系统、工件盘系统、烘烤系统、溅射系统、过渡仓、磁力机械手、离子轰击系统、充气系统和在线测量系统组成，同时匹配空气压缩气体气源和水冷系统，可根据客户使用需求定制。
●真空腔体：φ650X700双层水冷；（可根据实际需求定制）
●真空系统：分子泵+低温泵+罗茨泵+机械泵复合真空系统；
●真空抽速：1600L/S，进口全量程复合真空计，全金属防爆真空规；
●极限真空：6.7X10-5Pa；（根据客户选择主泵确定）
●磁控靶组件：4个矩形靶，3个圆形靶，根据客户实际需要匹配中频、射频、脉冲直流溅射电源；
●离子源：1套线性离子源，匹配专用电源；
●气路：4路反应气体，进口质量流量计，1路毛细保护气路；
●烘烤温度：300℃，不锈钢铠装加热器，可拆卸快装结构；
●工件盘：导轨多工位行星工件盘2套，工件盘装夹移动小车一辆；
●控制系统：西门子PLC+西门子人机界面+工业控制计算机。
企业名称
成都汉普升科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91510100MA61RJM16P
成立日期
2015-11-16
注册资本
(人民币)伍拾万元
经营范围
计算机软硬件开发；光学器件、光电设备、电子设备、自动化控制设备、环境保护专用设备、机电设备的研发、销售及技术服务，销售：五金交电、建材（不含危险化学品）、日用品；网上贸易代理。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营）。
成都汉普升科技有限公司
公司地址
成都经济技术开发区（龙泉驿）车城西二路288号派瑞国际4栋5楼
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公司名称： 成都汉普升科技有限公司
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