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1. 主体：全封闭框架结构，真空室为前开门方式，机柜和主机为一体式机构。采用优质0Cr18Ni9不锈钢材料（SUS304），箱体尺寸为不小于φ350X400mm。设置DN100观察窗口，位于真空腔体门正前方，骨架默认白色（或铝合金本色），门板为白色，四只脚轮，可固定，可移动。室体、真空机组、磁控靶等有断水报警锁定安全装置，能够防止停水后出现安全隐患。
2. 真空系统：
2.1极限真空度：≤6.63×10－4Pa（空载、经充分烘烤除气并充干燥氮气）。
2.2真空配置：高速直联旋片泵一台，抽速大于6L/S，超高分子泵一台，抽速600L/s。
2.3真空测量：两路电阻规，一路电离规；对真空室和真空管道分别精确监控，带数据通讯。
3. 工件架系统：单工位4英寸工件盘，工件盘可加热至500摄氏度，工件架真空室底部安装，便于更换基片，转速3～30rpm。
4. 照明装置：照明装置1套。
5. 磁控溅射系统：配置2-3个Φ50mm磁控靶，安装于真空室顶部，向下溅射成膜。
6.充气系统：二路分别配置质量流量控制器，分别为0-100SCCM 1只，0-200SCCM1只，准确度±1% F.S，线性±0.5 % F.S，重复精度±0.2% F.S。
7.循环冷却水路：配置冷水机组与空压机。
8.电气控制系统：采用功能化模块设计方式，匹配西门子控制单元和MCGS人机界面，实现真空系统的自动控制，基本工作单元的控制，安全报警及故障信息显示，并通过文字方式提示，软件的功能和模块可以根据实际需求进行单列或合并，但不得减少功能。
企业名称
成都汉普升科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91510100MA61RJM16P
成立日期
2015-11-16
注册资本
(人民币)伍拾万元
经营范围
计算机软硬件开发；光学器件、光电设备、电子设备、自动化控制设备、环境保护专用设备、机电设备的研发、销售及技术服务，销售：五金交电、建材（不含危险化学品）、日用品；网上贸易代理。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营）。
成都汉普升科技有限公司
公司地址
成都经济技术开发区（龙泉驿）车城西二路288号派瑞国际4栋5楼
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