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当前位置：锐时科技(北京) > 电子束曝光机 > EBPG Plus 超高性能电子束光刻系统

EBPG Plus 超高性能电子束光刻系统

品牌： Raith

产地：荷兰

型号： EBPG Plus

报价：面议

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Raith电子束刻蚀EBPG Plus的工作原理介绍电子束刻蚀EBPG Plus的使用方法?
RaithEBPG Plus多少钱一台?电子束刻蚀EBPG Plus可以检测什么？
电子束刻蚀EBPG Plus使用的注意事项？RaithEBPG Plus的说明书有吗？
Raith电子束刻蚀EBPG Plus的操作规程有吗？Raith电子束刻蚀EBPG Plus报价含票含运吗？
RaithEBPG Plus有现货吗？

核心参数

产地类别：进口

最小线宽： ≤ 8nm

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产品介绍

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EBPG Plus是一种超高性能电子束光刻系统。100kv写入模式和5 nm以下的高分辨率光刻，涵盖了各种纳米制造设备中直接写入纳米光刻、工业研发和批量生产的广泛前沿应用。新系统集稳定性，保真度和精度于一体，确保最佳的高分辨率光刻结果的所有性能参数之间的完美交互。

技术参数

• 肖特基热场发射电子枪

• 加速电压：50 kV，100 kV

• 发生器扫描频率：50 MHz，可选配至125 MHz

• 主场分辨率：20 bit

• 工作台运动范围：210 mm x 210 mm

• 工作台最高运动速度：25 mm/s

• 激光干涉仪分辨率：0.15 nm

• 束流范围: 50 pA->350 nA

• 最小线宽：≤ 8 nm

• 曝光剂量调节范围：32 bit（2^32级）

• 自动寻找50 个对准标记时间：≤90 s

售后服务

产品货期： 365天

整机质保期： 1年

培训服务：安装调试现场免费培训

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Raith电子束刻蚀EBPG Plus的工作原理介绍

电子束刻蚀EBPG Plus的使用方法?

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电子束刻蚀EBPG Plus可以检测什么？

电子束刻蚀EBPG Plus使用的注意事项？

RaithEBPG Plus的说明书有吗？

Raith电子束刻蚀EBPG Plus的操作规程有吗？

Raith电子束刻蚀EBPG Plus报价含票含运吗？

RaithEBPG Plus有现货吗？

工商信息

企业名称

锐时科技(北京)有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(中外合资)

信用代码

91110108MA00D94N60

成立日期

2017-04-06

注册资本

人民币元100万元

经营范围

技术开发、技术咨询、技术服务;计算机技术培训(不得面向全国报生);销售机械设备,通用设备、计算机,软件及辅助设备;数品处理(数据处理中的银行卡中心、PUE值在1.5以上的云计算数据中心除外);工程和技术研究与试验发展,货物进出口、技术进出口、代理进出口。.(依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动。)

联系方式

锐时科技（北京）有限公司

公司地址

北京市东城区北三环东路36号环球贸易中心A座709室

客服电话

400-860-5168转5901

锐时科技(北京)有限公司为您提供RaithEBPG Plus 超高性能电子束光刻系统，RaithEBPG Plus产地为荷兰，属于进口电子束曝光机，除了EBPG Plus 超高性能电子束光刻系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多电子束曝光机,锐时科技(北京)客服电话400-860-5168转5901，售前、售后均可联系。

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