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小型蒸镀仪
一:产品参数
1. 产品名称:小型蒸镀仪
2. 产品型号:KT-Z1650CVD
3. 产品品牌:郑科探 Zhengketan
4. 生产厂家:郑州科探仪器设备有限公司
二:功能要求
KT-Z1650CVD 是一款小型台式加热功率可控蒸发镀膜仪,仪器虽 小功能齐全。配备 7 寸触摸屏人工界面,具有电流时间工艺储存功 能。配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及自动电动 样品挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率,可对大部分金 属(金,银,铜,铬,镍等)和有机物进行均匀蒸发沉积。真空腔 室为透明玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄 膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。
三:主要技术要求
1. 控制方式:7 寸人机界面 手动 自动模式切换控制
2. 加热方式:数字式功率调整器
3. 镀膜功能:0-999 秒 5 段可变换功率及挡板位和样品速度程 序
4. 最大功率:≤1200W
5. 最大输出电压电流:电压≤12V 电流≤120A
6. 真空度:机械泵 ≤5Pa(5 分钟) 分子泵≤10^-3Pa
7. 挡板类型:电控
8. 真空腔室:玻璃罩+不锈钢腔体φ160mm x 160mm
9. 样品台:可旋转φ62 (最大可安装φ50 基底)
10. 样品台转速:8 转/分钟
11. 样品蒸发源调节距离:70-140mm
12. 蒸发温度调节:≤1800℃
13. 支持蒸发坩埚类型: 钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 陶瓷坩埚 石英石坩埚
14. 预留真空接口:KF25 抽气口 KF16 真空计接口 KF16 放 气口 6mm 卡套进气口
四:主要配置要求
1.1 台 · 小型蒸镀仪 KT-Z1650CVD 主机
2.1 个 · 真空挡板阀 KF25 接口
3. 1 个 · 放气阀 KF16 接口
4. 1 个 · 52T 真空计 KF16 5. 1 台 ·
(选配)分子泵真空机组,机械泵
企业名称
郑州科探仪器设备有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91410102358043099C
成立日期
2015-09-01
注册资本
510000
经营范围
销售:仪器仪表,电子元器件,高低压成套设备,机电设备,阀门,五金交电,管件,实验室设备的安装;机电设备安装工程(凭有效资质证经营);实验室设备及配件的技术开发;软件开发;自动化控制设备的技术开发;从事货物和技术的进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后放可开展经营活动)
公司地址
河南开郑州高新技术产业开发区西三环路289号6幢11单元3层
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公司名称: 郑州科探仪器设备有限公司
公司地址: 河南开郑州高新技术产业开发区西三环路289号6幢11单元3层 联系人: 陈经理 邮编: 450000
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