北京供应科研小型溅射仪KT-1650PVD是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率,可对大部分金属进行均匀物理沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜。
控制方式 | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
溅射电源 | 直流溅射电源 |
镀膜功能 | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
输出电压电流 | 电压≤1000V 电流≤1A |
真空 | 机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤5*10^-3Pa |
溅射真空 | ≤30Pa |
挡板类型 | 电控 |
真空腔室 | 石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm |
样品台 | 可旋转φ62 (可安装φ50基底) |
样品台转速 | 8转/分钟 |
样品溅射源调节距离 | 40-105mm |
真空测量 | 皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa) |
预留真空接口 | KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
用户单位
采购时间
采购数量
郑州大学
2020/04/08
1
企业名称
郑州科探仪器设备有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91410102358043099C
成立日期
2015-09-01
注册资本
510000
经营范围
销售:仪器仪表,电子元器件,高低压成套设备,机电设备,阀门,五金交电,管件,实验室设备的安装;机电设备安装工程(凭有效资质证经营);实验室设备及配件的技术开发;软件开发;自动化控制设备的技术开发;从事货物和技术的进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后放可开展经营活动)
郑州科探仪器设备有限公司
公司地址
河南开郑州高新技术产业开发区西三环路289号6幢11单元3层
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