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优可测白光干涉仪AM7000系列-陶瓷基板表面粗糙度、线宽线高、R角检测解决方案
2024/01/04 16:50
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方案摘要：
产品配置单：
优可测白光干涉仪AM-7000系列ER-230-三维形貌测量轮廓仪
型号： ER 230
产地： 广东
品牌： 优可测
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方案详情：
优可测AM7000系列采用白光干涉原理，搭配大量程高速纳米压电陶瓷器件，最高扫描速度400μm/s。
产品可以应用在电子电路产业的多个工艺段，实现表面粗糙度/引线框高度/平面度/R角/铜厚/线宽等三维形貌检测，精度高达0.03nm。
本方案以陶瓷基板表面粗糙度、线宽线高、R角检测为例。详情请看附件。
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