核心参数
产地类别: 国产
操作方式: 全自动
测量精度: ±1.5μm
光栅尺分辨率: 50nm
摄像机: 2000万像素 黑白CMOS
光源: 透射光、环形光、可移动轮廓光、缝隙环光
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