先进测量技术的重要性以大规模集成电路为核心的行业应用发展，提出了更复杂、更细分的测量需求，带动先进测量技术和设备的不断创新，使之呈现出了高精度、高速率、智能化、多功能发展趋势。先进测量技术和设备在半导体、光学光电、电子制造、材料科学、精密加工、航空航天、医疗、汽车等技术密集行业中不可或缺，是现代科学研究和工业发展强大推力，是当下中国制造迈向高端智造，实现质量强国、科技兴国的重要基石。精密制造加工与先进测量技术相辅相成国产测量设备的机遇与突破当前，先进测量设备在主流行业应用中仍被国外产品占据大部分市场份额，往往成套的进口设备价值超过100万人民币，设备部件更换难、售后服务响应慢，长期以来制约着新兴制造产业的发展升级。随着我国推出国产替代、创新扶持的政策，大力加强高精度计量基准、计量标准的研制和应用以来，一些民族企业抓住机会不断创新，成功打破垄断，制造出国产的先进测量设备。优可测的白光干涉仪就是国产先进测量设备突围的典型代表，其在光学精密测量领域的成功突围，填补了国内白光干涉仪的市场空白。作为一个以创新立足的国产测量仪器及传感器品牌，自2018年开始，优可测通过与顶级科研机构的紧密合作，深扎产品技术壁垒，不断将先进的技术应用于新的产品系列，至今已经拥有成熟的产品能力，产品可媲美甚至部分性能优于国外同类产品。白光干涉仪是高附加值、高技术门槛的仪器，其广泛应用于芯片制造、精密加工、新能源汽车等前沿行业，满足生产、研发和品控过程表面粗糙度、台阶、3D形貌、三维形貌比对、高度、几何图形、平面尺寸、3D轮廓等测量需求。优可测白光干涉仪 AM系列优可测白光干涉仪AM系列投入应用以来，凭借产品独特的纳米级超高测量精度、秒级测量速度和可定制化的能力，获得包括光学、半导体、医疗在内的行业内客户广泛青睐，秉承为客户实现增值的理念，一直为客户的高精密加工器件提供先进测量能力，助力国产制造高质量发展。

微透镜阵列，是将众多微透镜按一定规律排列组合的光学器件。起到聚集或发散光路的作用，具有高分辨率和高灵敏度的特点。在需要匀化激光的激光设备、聚集光线的数字投影仪、紧凑型成像的消费类电子，都有广泛的应用。如何快速、精准、便捷的测量其微小关键尺寸，确保良率，是困扰生产厂家多年的痛点。优可测白光干涉仪，能为微透镜阵列产品提供怎样的测量方案呢？— —01曲率半径测量影响焦距的位置，曲率半径越大，焦距越长。是品控过程中必不可少的测量项目。02矢高测量影响微透镜阵列的均匀性，进而影响成像均匀性、耦合性等问题。粗糙度测量对光路有明显影响，严重的可能导致部分微透镜在阵列中失效，甚至破坏其他微透镜单元成像效果。04面型对比整体形貌的重要参数，优可测白光干涉仪可实现面型轮廓比对、K值计算。— —优可测Atometrics白光干涉仪AM系列完美胜任微透镜领域的测量工作！并在如下几点做到了行业Top效果1、高NA值镜头&弱光提取算法，角度特性大，边缘尺寸一览无遗；2、高速度压电陶瓷&独特SST算法，可最大400μm/s扫描，急速成像；3、超滑镜片粗糙度轻松测量，低至0.02%反射率亦可精细采集成像；

助力国产精密加工智能化，优可测在线粗糙度测量（关键词：在线粗糙度测量）近年来，伴随着人工智能、大数据、物联网的技术兴起，工业制造智能化已经成为十分明显的趋势，在国家大产业链布局下，工业制造的方方面面需要从全局看待。从智能手机、智慧家电到无人汽车、航空航天等，精密加工出现在工业制造的各个领域当中，在国产工业制造升级过程中，需要工业制造实现标准化、高效化，在每一个环节要求稳定并精度可控。在国产精密加工的智能化中，加工件的表面粗糙度影响甚大，是衡量工件表面质量的一个重要因素。什么是表面粗糙度？表面粗糙度(surfaceroughness)指表面具有较小间距和微小峰谷的不平度，表面粗糙度越小，则表面越光滑。加工件的表面粗糙度反映了加工件表面的微观几何形状误差，对工件的使用寿命和工作性能有着直接而重要的影响。在工业制造智能化的环境下，加工件基本不会被单独使用，而是与其他工业加工件和产品连接嵌合使用，表面粗糙度不达标的加工件流入产线，损害的是整个产线的效率与质量。同时，对加工件的粗糙度测量，也不再仅限于离线式测量，而是要求与整个产线同步运行，实现加工件的在线粗糙度测量。甚至一些新型微小尺寸、高参数要求的精密加工件，在线测量其粗糙度具备极大的挑战性。    针对以上情况，优可测提供了在线粗糙度测量解决方案。凭借优可测白光干涉仪AM系列的高精度、高速度、可定制在线的功能优势，可集成应用到在线使用，在线测量速度快至1s，对新型加工件也能提供亚纳米级高精度测量能力。优可测对精密加工件在线粗糙度测量的优势：1.精确捕捉，超高精度微观3D形貌的能力优可测白光干涉仪AM系列可用于对各种精密加工件表面进行亚纳米级别测量，测量精度高达0.03m，以“面”的形式获取表面3D形貌，立体超微呈现加工件的几何形状。2. 超高速 极大提高测量效率，可用于自动化产线白光干涉仪AM系列在线测量快至1s，拥有一键测量模式，对加工件在线粗糙度测量具备独特的测量速度优势。3.大视野高精度，大范围测量在一些大型加工件的测量中，支持拼接大范围下高精度测量，最大视野300mm*300mm，任意放大倍率下均可获得＜1nm的检测精度。4.丰富的测量工具，从容应对国产精密加工制造的升级挑战涵盖市场上通用的国际标准测量工具，高效率轻松分析3D数据。针对加工件的测量，拥有半径、弧度、角度、轮廓、直径等实用测量功能。

岁月激昂，前行不止！回顾今年苏州/成都两场展会，现场如火如荼，接待来自全国各地的观展客户。经验丰富的优可测工程师与客户进行深度交流、讨论需求点、为客户精密制造提供专业的解决方案。5月！！深圳/上海/西安等您莅临指导和交流   【优可测将展示】 白光干涉仪 AM-7000系列国产3D微观形貌超高精度测量系统——精度高达亚纳米级，在线检测快至1s粗糙度·台阶·轮廓·三维形貌·类SEM效果 3D线激光传感器 AR-7000系列在线3D视觉检测解决方案——极致的高精度测量3840point丰富的软件功能专业的技术团队支持  光谱共焦位移传感器 AP-5000系列双头测厚专业解决方案——超大角度特性，易用模块化软件不受材质影响高精度、小尺寸、小光斑 薄膜厚度测量仪 AF-3000系列薄膜厚度测量专业解决方案——超高精度分辨率 1Å离线/在线/Mapping/全自动等多应用场景可测量层数10层  更多展会精彩内容欢迎莅临现场参观指导！

高端手机中框一般由铝板CNC加工制造而成，作为承载手机各零部件的支撑件，有着极高的尺寸和平面度要求。若铝板基材来料平面度精度不足，会导致CNC加工后尺寸报废，造成时间和金钱上的双重浪费。以往铝板的平面度由人工塞尺或三坐标进行检测，因效率低，成本高，仅能抽检，已不能满足目前的产线节拍要求。线上高效率、高精度全检，是目前行业急需的替代解决方案。— —近期，优可测接到测试需求，交出了让客户满意的答卷。01检测项目→尺寸误差：长度、宽度≤±0.1mm；→平面度检测误差：≤±0.01mm→节拍：≤2s/片图1-铝板检测说明02应用难点1.产品姿态不一、出现倾斜，不能自适应测量或测量出现偏差；2.精度要求为±0.01mm，对3D线激光传感器测量精度要求高；3.节拍快，要求2s/片，扫描速率不够会导致漏检、错检。03优可测专业解决方案优可测使用“模板匹配工具”，提取2D灰度图像轮廓图像中心点建立 xy 坐标系，保证产品自动化批量检测可以自适应的测量。图2-自动化产线产品位置示意图软件具备“倾斜补偿”算法，可自动倾斜补偿得到实际值，重复测量精度≤±0.01mm。图3-倾斜摆放扫描示意图内置“平面度测量工具”，可自定义测量区域，实现高精度的平面度测量。实测测量结果与三坐标测量结果具有一致性。图4-平面度取点图最高可达10KHz的扫描速率，每天检测2万片以上。图5- 3D线激光检测示意图04优可测的优势1.极致的高精度测量3840point2.强大的软件功能-具备各种3D检测工具和算法3.专业的服务团队-快速对应、专业提案、免费测试机— —优可测提供全国范围内的免费测试服务！想继续了解更多关于3D线激光测量仪的行业案例关注小优博士，下期继续给大家分享吧！

优可测隆重推出薄膜厚度测量仪AF-3000系列新品，助力国产制造和科研升级。小优博士带大家来一睹新品风采！— —【测量原理】不同波长的光波穿透被测膜层上下表面反射光相互之间的相位差增强或减弱通过解析干涉图形计算被测膜层厚度【应用场景】广泛应用在半导体、精密光学、液晶、新能源/光伏、医疗、刀具、制成薄膜、高分子材料等行业。例如ITO膜、钙钛矿 、量子点、SiO2、光刻胶等。优可测AF-3000系列提供高精度、高速度、多场景、多层厚度测量方案。四大亮点 远超传统膜厚仪01超高精度 分辨率1Å采用独特的“分波段拟合算法”偏差精准校正，实现超高分辨率02多层测量最高可测10层03适用多场景04毫秒级别采样频率比传统膜厚仪提升2-3倍更合适在线使用— —优可测提供全国范围内的免费测试服务！需了解AF-3000产品详细参数和细节欢迎访问优可测官网由专业工程师对接。

新材料测样难？优可测提供白光干涉仪测试服务（关键词：白光干涉仪测试）随着 “中国制造”向高质量、高性能、高精密发展吹起号角，半导体、光学、3C制造、新材料、精度加工、医疗、航空航天、新能源等高端产业相继得到重点投资和扶持，推动国产制造“高端化”已成为未来5-10年的发展基调。伴随这些产业技术的不断突破，各种新材料、新器件、新工艺在高校、实验室、行业企业不断涌现，。如何对这些样品实现便捷、高效的测量测试成为需要解决的问题。当前测试困境以往，高校、实验室、行业企业客户以委外测量方式为主。在客户（尤其是企业客户）出现大量测量件时，需要在短时间内紧急完成测样时，委外测试存在无法满足大批量测量需求的问题，如某晶圆代工厂大批量来料后需要紧急测量样品的表面粗糙度是否合格；客户的新工艺、新材料出现后势必对测量技术有更高的要求，委外测量存在技术及设备难以跟上的问题，如某高校新型薄膜材料样品的表面膜厚检测，测量精度要求达到纳米级，并要求不受样品表面高反光影响；多批次委外测样，委外测量设备或数据未必能保证一致，影响客户后续研发、生产的调试调节。优可测的测试服务优可测的白光干涉仪测试提供小批量免费测样服务，测样时间周期可控，专人对接。优可测白光干涉仪具备高精度、高速度、可定制、大角度特性的优势，测样速度快、效率高，满足复杂测量需求下的样品测样。优可测的产品优势1. 精确捕捉，超高精度微观3D形貌的能力优可测白光干涉仪测试可用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级别测量，高达0.03nm的测量精度可对各种新型高精度工艺器件样品的微观表面3D形貌进行精确还原2. 超高速，极大提高测量效率，可用于自动化产线测量速度以秒级计算，开启一键测量模式，可满足大批量产品抽样检测，以及可定制到自动化产线，满足在线测量需求。3. 满足新型材料的复杂测量优可测白光干涉仪可测量低至0.02%反射率的高透明新型材料产品，轻松采集信息。超越传统的极大角度特性，光滑面角度特性最高53°，局部剖面倾角可达90°，对样品的R角具备优秀测量能力。4.测量不同样品数据的稳定性对不同批次不同材料的样品，具备测量的高稳定性，RMS重复性最高可达0.002nm。

半导体产业链的国产化浪潮下，优可测推出晶圆粗糙度检测方案晶圆（wafer）是制造半导体器件的基础性原材料。根据设计的电路图，晶圆经过切割、光刻、蚀刻、封装、测试等不同工艺流程的处理，最终在晶圆上加工制成各种电路元件结构、具备有特定电性功能，从而成为芯片。2016-2021年，中国大陆晶圆代工市场规模从327亿元增长至668亿元，年均复合增长率为15%，高于全球行业增长率，半导体产业销售额由2017年的7885亿元增长至2021年的12423亿元，年均复合增长率达12%，发展十分迅速。半导体的快速发展离不开国家政策的扶持，2000年以来，国家不断通过各种政策大力扶持国内半导体产业的发展，2014年成立国家集成电路产业投资基，专项扶持投资集成电路芯片制造业，2015年集成电路作为“新一代信息技术产业”列入《中国制造2025》。2020-2023年，国家更是自上而下的多角度、全方位密集出台相关政策，包括财税调节、高校/实验室技术研发支持，产业投资、人才补贴、低息贷款等，涉及半导体设计、制造、加工、设备、材料等各个环节，全力加速半导体产业链国产化进程，迅速推动形成产业链的国产化浪潮。晶圆的制造需要经过多个加工工艺及流程，每个阶段都要开展不同的测量测试以保证成为良品。在晶圆多项加工中，及时发现表面粗糙度不合格的晶圆并防止流到后续流程，对提升晶圆生产良率和节省成本十分重要，由于晶圆产品的特殊性，在晶圆上制成各种加工结构都要求达到微米级甚至纳米级进程，并且晶圆以大批量量产为主，这对晶圆表面的检测精度和效率提出了极高的要求。针对于此，优可测作为国产测量仪器的领导品牌，推出晶圆粗糙度检测解决方案，使用白光干涉三维形貌仪AM系列在晶圆加工的多个工艺段中，为晶圆微纳表面提供高精度、高速度的国产检测设备，精细还原表面三维形貌。例如，在晶圆成形前的硅棒切割、晶圆的研磨&减薄阶段，优可测凭借独特的产品优势可检测晶圆表面是否光滑、粗糙度是否达标；优可测的白光干涉三维形貌仪AM系列还具备以下独特的优势：1.精确捕捉，超高精度微观3D形貌的能力优可测AM系列可用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级别测量，测量精度高达0.03m，以“面”的形式获取表面3D形貌，3D高度还原材料表面的微观形貌。2. 超高速 极大提高测量效率，可用于自动化产线AM系列测量速度以秒级计算，开启一键测量模式。搭配大量程高速纳米压电陶瓷器件，最高扫描速度400μm/秒，3200Hz；3.大视野高精度，大范围测量白光干涉原理通过光干涉相位计算，任意放大倍率下均可获得＜1nm的检测精度。4.丰富的测量工具，可定制化涵盖市场上通用的国际标准测量工具，可根据客户实际需求进行软硬件定制。可定制在线测量以上，在整个芯片的全流程中，优可测白光干涉三维形貌仪AM系列除了不止可以检测晶圆的粗糙度，在晶圆的刻蚀、划片、打标阶段，可检测表面切割深度、平面度、翘曲度、整体面型、PV值缺陷等；在光刻阶段的掩膜版，可检测其表面图形是否完整、XY尺寸及其台阶高度尺寸是否达标；在bumping阶段，可检测凸点高度是否达标符合要求……以上等等工艺中，优可测都可提供高效稳定的检测能力，拥有更多延展场景的测量能力。

2023年4月26日，中国国际（西部）光电产业博览会（简称：CCWPE 或西部光电博览会）于成都世纪城新国际会展中心正式开幕，该展是目前我国中西部地区举办时间最长、影响力最大的光电产业展会。光电产业是优可测的重点应用行业，作为国产精密测量仪器及传感器领导品牌，一直以来都深度参与到西部光电产业市场，为西部光电企业和高校/实验室的研发、制造提供产业升级的高精度测量“国产替代”解决方案。本次优可测团队携自主原研生产的重点产品参展，向来自世界各地的展商和观众，展现优可测在光电产业高精度测量的硬实力。~~~~~~~~~~~~~【优可测展台】优可测展台位于8号馆WT003位，处于展馆中部的主干道旁，面积36㎡，采用开放式结构的设计。【现场直击】【优可测展品】展台展示优可测5款最新上市产品：白光干涉仪AM-7000系列、3D线激光传感器AR-7000系列、光谱共焦位移传感器AP-5000系列、膜厚测量仪FT-3000系列。白光干涉仪 AM-7000系列——精度高达亚纳米级，在线检测快至1s粗糙度·台阶·轮廓·三维形貌·类SEM效果3D线激光传感器 AR-7000系列——极致的高精度测量3840point丰富的软件功能专业的技术团队支持光谱共焦位移传感器 AP-5000系列——超大角度特性，易用模块化软件不受材质影响高精度、小尺寸、小光斑薄膜厚度测量仪 AF-3000系列——超高精度、场景丰富、多层测量展会首日顺利结束，优可测展示的产品、技术与解决方案，引来众多客户关注，人气聚集。展会持续，精彩不断，4月26-28日优可测期待您的莅临指导！

优可测Atometrics白光干涉仪AM系列搭载着超高精度扫描单元——压电陶瓷纳米级步进！逐层扫描还原真实三维形貌，让微小瑕疵、细微划伤无所遁形。今天小优博士带您了解压电陶瓷在白光干涉仪内的重要作用。通过前几期文章，相信大家已初步了解白光干涉仪实现纳米级测量精度的原理。前两期传送门白光干涉仪如何选择镜头丨科普篇如何验证白光干涉仪精度丨科普篇01压电陶瓷  PZT压电陶瓷PZT通过给予电压信号产生相同间距的微量位移，负载镜头进行逐层扫描。是白光干涉仪实现精细逐层扫描核心硬件。是测量精度和三维图像真实还原度的决定性因素。 区别于步进电机，压电陶瓷有着如下几个明显优势① 步进低于几十纳米甚至几纳米② 步进线性均一③ 步进可控性强02压电陶瓷精细扫描案例图1  金刚石工具表面  ( ER-230拍摄 )金刚石表面细节丰富细腻图像真实还原性极高图2  5nm台阶高度测量 ( NA-500拍摄 )低于10nm的超微台阶轻松应对图3  超光滑镜片表面粗糙度（ NA-500拍摄)03三大特点优可测Atometrics 白光干涉仪AM系列搭载的压电陶瓷“高精度”“大量程”“高速度”白光干涉仪具体还由哪些重要的硬件组成呢？关注小优博士，下期继续给大家科普吧！

随着消费类电子产品轻、薄、短、小的发展，电子器件PCB在有限的空间内贴片更多的元器件，焊锡的检测是控制产品良率的重要环节。01应用描述优可测3D线激光AR-7000系列，满足客户高精度、高速度、可客制化的需求，提供了完整的焊锡质量3D视觉检测方案。检测内容主要包括：虚焊、连锡等。（图1）通过扫描构建三维图像（图2）利用连续轮廓工具截取多条轮廓线（图3）轮廓计算每个焊锡高度，判断是否虚焊（图4）轮廓计算平均高度，判断是否连锡02AR-7020线激光的优势① 垂直光路设计，具有更加真实精准的图像质量② 自定义UI界面，实时显示各项关键数据及比例③ 3840点，点数更多，轮廓更加精细，数据更准确

2023年3月1日， 优可测在苏州国际博览中心举办的第13届中国国际纳米技术产业博览会（CHInano 2023）首日精彩亮相，该展会是中国最具影响力的纳米技术交流会。本次展会，优可测以“高效创造纳米产业价值”为参展主题，向来自世界各地的参展商和观众展示最新研发的国产测量仪器和传感器产品，为纳米技术产业提供可靠的测量解决方案。【优可测展台】优可测展台位于B1馆T40位置，面积36㎡，以工业灰为主结构的设计元素，搭配使用大量白色发光灯带，凸显稳重精确的工业风和奋发上进的品牌特征。 展台展示优可测5款最新上市产品：白光干涉仪AM-7000系列、3D线激光传感器AR-7000系列、光谱共焦位移传感器AP-5000系列、薄膜厚度测量仪AF-3000系列，覆盖从微米到纳米再到亚纳米的测量精度，满足生产、研发和品控过程表面粗糙度、台阶、3D形貌、三维形貌比对、高度、几何图形、平面尺寸、3D轮廓等测量需求。现场讲解白光干涉仪AM-7000系列产品AR-7000系列         AP-5000系列          AF-3000系列展会持续，精彩不断。3月1-3日优可测将与您继续相约在苏州国际博览中心T40展位，期待您的莅临指导，不见不散！

优可测在华东市场的业务开展由来已久，经多年深耕，苏州已成为优可测在华东的业务营业中心。随着业务量的增加，旧址已无法满足运营需求。苏州分公司于9月27日乔迁新址，新增多个会议室和独立实验室，提高营业效率和办公舒适性。新址位于苏州工业园区苏虹中路 393 号，紧临金鸡湖、阳澄湖，环境优美，交通便利，2小时高铁圈辐射上海、无锡、常州、南通、杭州等地。新迁扩大旨在深度覆盖苏、浙、沪、皖地区的电子电路制造、半导体、光学、新材料、航空航天等行业市场，立足苏州，打造贴近客户的营业枢纽中心，进一步提高优可测在区域市场的快速响应能力，为华东客户提供高效快捷的专业服务。欢迎各位新老客户莅临指导！苏州分公司新址地址：苏州市苏州工业园区苏虹中路 393 号101-104电话：400 080 3885

粗糙度、台阶高度是白光干涉仪最擅长的测量工作。小优博士也重点说明过在此类测量应用的优势。白光干涉的超高精度，会让很多评估者无从下手。怎么验证一台白光干涉仪的高度测量能力？小优博士给您支招。非常简单！只需准备“SiC硅片” 和 “标准台阶块”15分钟验证3大参数即可！a、RMS重复性b、台阶重复性、台阶准度c、扫描量程、扫描速度一、RMS重复性RMS重复性：ISO 25178 标准下，测量两次SiC表面粗糙度Sq；取Sq/√2 的差值，或30取1σ的平均偏差。       （图1  SiC晶圆） 二、台阶重复性、准度台阶重复性：测量标准台阶高度的重复偏差；一般测量30次，取1σ的极值偏差/平均值。 台阶准度：测量值相对标准值的偏差；一般测量30次，取1σ的标准偏差/标准值。（图2   标准台阶块） 三、扫描量程、速度硬件“压电陶瓷“直接决定了量程和速度；验证方法:实测样品确定量程，使用秒表计算时间。                                   ====普通实验室环境下小优博士使用优可测Atometrics白光干涉仪ER-230进行实验。↓ ↓（图3   对SiC标准片进行30次粗糙度Sq，取1σ的标准偏差）RMS重复性0.005nm--（图4   对12μm马尔标准块进行30次高度测量）取1σ的极值偏差/平均值，台阶高度重复性0.07%取1σ的平均值/标准值，台阶高度准确性0.3%--（图5   对接近5000μm的产品进行扫描）高度 4815μm（图5   记录扫描时间）扫描速度400μm/s 15分钟验证完毕，此技巧你掌握了么！

提到产品粗糙度这个概念，大家很难和自己的实际生活关联起来。但实际上，你可知道，你使用的手机，屏幕玻璃需要测量粗糙度；你驾驶的汽车，发动机零部件需要测量粗糙度；你挎着的爱马仕，金属饰件需要测量粗糙度。甚至，核酸检测使用的PCR试管也需要测量粗糙度。今天小优博士带大家一起来解密为何PCR试管要测粗糙度？病毒形态非常小，在普通光学显微镜下无法分辨，但每种病毒都有其独特的基因序列，通过检测病毒核酸就可判断是否存在病毒。核酸检测最高效的方法，是通过PCR设备检测荧光信号来确定病毒核酸。 一、检测流程：采集样本→放入PCR试管内→放入PCR设备提取RNA→RT成cDNA→PCR扩增→采集荧光信号                      （图1，PCR试管）（图2，PCR设备）（图3，设备运行检测荧光信号）二、提取病毒和采集荧光的过程对耗材PCR试管粗糙度有严格要求三、实测PCR试管粗糙度值 （图4：使用优可测ER-230测试PCR管内壁粗糙度值）小优博士科普粗糙度的几个知识点 一、什么是粗糙度表面粗糙度(surfaceroughness)指表面具有较小间距和微小峰谷的不平度。表面粗糙度越小，则表面越光滑。 二、为什么要测量粗糙度三、粗糙度标准不同行业和地区，有多种粗糙度标准。目前国际常用的标准：线粗糙度ISO-4287，面粗糙度ISO-25178          （图5：面粗糙度和线粗糙度的国际标准）1、线粗糙度Ra/ Rz在ISO4287标准的计算方式：Ⅰ: Ra是“轮廓偏距绝对值的算术平均值“Ⅱ：Rz是 “最高波峰Rp+最低波谷Rv“ 在理解线粗糙度后，面粗糙度就很好理解了。2、面粗糙度Sa/ Sz 在ISO25178标准的计算方式： Ⅰ：Sa是取样面积内“ 所有波峰波谷的轮廓偏距绝对值的算术平均值“Ⅱ：Sz是取样面积内“最高波峰+最低波谷“      测量粗糙度的设备 上一期介绍过白光干涉仪可以测量亚纳米级粗糙度传送门→《白光干涉仪能做什么 丨科普篇》 有哪些测量粗糙度的设备，白光干涉仪在测量粗糙度上有哪些优势？等下期小优博士再给大家科普吧！

上期小优博士科普了粗糙度几个知识点，传送门↓↓《 你不知道的冷知识，新冠试管也要检测粗糙度》那如何选择粗糙度测量设备？今天小优博士和大家一起来探讨。 在选择粗糙度仪前，务必关注几点：I    粗糙度等级II   粗糙度标准III  效率要求、使用场景一、可通过如下两个表格选择适合自己的测量方式和原理①测量方式 ②测量原理软质材料选择非接触式粗糙度仪；探针式粗糙度仪一般只能测量线粗糙度；粗糙度＜0.2μm的建议非接触式粗糙度仪；测量粗糙度精度排序：    原子力显微镜≥白光干涉仪＞激光共聚焦显微镜＞探针式粗糙度仪＞景深叠加三维显微镜； 二、考虑应用场景 --在线/离线；使用环境 --实验室/制造现场；检出效率--每天检测量。三、除了粗糙度，是否有其他检测项目，例如尺寸测量，面型，三维图像比、图形统计等等。最终，适合您的粗糙度仪就基本确定了。 如果您对粗糙度的要求是 “高速度、高精度、有特殊应用场景”，可参考小优博士的优可测的AM系列白光干涉仪。超快扫描速度：400μm/s；可适配115倍高NA值镜头，提高角度特性和XY分辨率；线粗糙度和面粗糙度标准全覆盖；超高精度：0.03nm粗糙度可测量；应用场景丰富：可客制化特殊应用场景，开发在线机台和软件定制；  （图：光学镜片研磨后粗糙度测量）(使用优可测NA-500，X10镜头；实测37.31pm即0.03731nm )

上两期介绍了粗糙度的概念、设备，也着重说明了白光干涉原理在粗糙度的应用优势，传送门↓↓《如何选择粗糙度测量设备丨科普篇》而目前半导体、3C制造、材料、精密加工等领域，除了粗糙度，还会涉及到台阶高度测量，微观领域的台阶从几个纳米到几百微米不等。本期，小优博士带大家一起了解白光干涉在测量台阶高度的优势。 精度高白光干涉仪精度可达亚纳米级别  图1， “镀膜台阶测量”  （由 优可测NA-500，50X 拍摄）  多线测量  工具丰富快速选取比探针式更多的截面，保证测量稳定性；功能丰富，自动测量最高最低点、平均值，统计分析。图2 ， “晶圆切割台阶深度”(由 优可测EX-230，20X 拍摄）  可测高透明产品 低至0.02%反射率的表面也可以轻松采集点云成像。图3，“超光滑玻璃镜面”（由 优可测EX-230 ，20X 拍摄）  非接触式测量非接触式不会刮伤表面，软质、尖锐产品可测。 图4，“软质材料凝固实验”（由 优可测ER-230 ，20X 拍摄）    广视野  速度快倍率精度相同，可获得大视野。以面的形式扫描，一般在数秒钟内即可完成测量。优可测白光干涉仪甚至可达400μm/s 扫描速度。

通过前两期文章，相信大家已初步了解白光干涉仪原理和优势。前两期传送门↓↓三张动图介绍主流三维显微镜原理丨科普篇 白光干涉仪如何获得高度信息丨科普篇_______________________________那白光干涉仪能做什么？今天小优博士带大家了解白光干涉仪的几个经典用途。一、超精细粗糙度测量（例1）玻璃镜片 0.05nm 粗糙度测量        · 优可测白光干涉仪 NA-500拍摄二、台阶高度（例2）掩模版台阶高度测量· 优可测 白光干涉仪 EX-230 拍摄三、形貌观察&测量 （例3-1）菲涅尔膜形貌测量· 优可测 白光干涉仪 EX230 拍摄（例3-2）金属表面研磨后形貌观察&测量    · 优可测 白光干涉仪 EX230 拍摄四、不同条件下实验形貌比对&测量 （例4）化工材料不同浓度液滴后形貌分析· 优可测 白光干涉仪 ER230 拍摄五、“快速扫描”特性可配合机械手、集成自动化设备进行在线测量

一目了然！小优博士通过“扫描微型金字塔”带您了解“景深叠加-激光共聚焦-白光干涉仪”原理&应用场景。确定应用需求后，寻找适合的设备是不少科研人员的重要工作；了解设备原理和优劣势才能结合自身的应用场景选择最适合自己项目的设备；目前市面主流的三种3D显微镜“景深叠加”-“激光共聚焦”-“白光干涉”，该如何选择呢？ 小优博士以“建造微型金字塔“给大家介绍三种设备的优劣势和应用场景。一、“景深叠加”原理显微镜建造微型金字塔景深：一次镜头可以看到的深度  = 1层 ；叠加：马达带动镜头移动，每隔1层拍摄一张图片，再叠加一起；高度：马达计算步进；3D图：利用最小二乘法和马达位置，得出3D图像。✳马达精度几乎决定了Z向精度。二、“激光共聚焦”原理显微镜 建造微型金字塔小孔接收图像信号：每次只拍摄金字塔一块砖的图片（为了排除旁边砖的影响，单块砖细节更好）；振镜XY方向扫描：将每块砖都进行拍摄，拼接后形成1层金字塔；高度：第一层扫描后，马达逐层带动扫描其他层；3D图：利用每块砖的信息和马达高度，软件合成后生成3D图片。✳拍摄到一块砖的细节需要使用20甚至50倍以上镜头。一般情况20倍以下镜头没有精度。三、“白光干涉”原理的显微镜建造微型金字塔产生干涉：金字塔表面反射回来的光和内部光路参考镜距离相同时，产生干涉条纹；高度：纳米级压电陶瓷移动光路时获得的多个干涉条纹的相位差（Ø）；3D图：相位差（Ø）转换为高度h，解析成高度三维形貌。✳精度和波长相关，和倍率无关。总结建造金字塔精度 （Z向精度）：  白光干涉   >  激光共聚焦  >>  景深叠加建造金字塔高度（Z向量程）：      景深叠加   >  激光共聚焦    >  白光干涉建造金字塔速度 （扫描速度）：    景深叠加   >    白光干涉   >> 激光共聚焦

就 ” 白光 -干涉- 高度” 三个内容， 小优博士带大家一起了解白光干涉仪是如何获得高度。一、什么是白光？可见光波长范围390nm - 780nm， 最短是紫光,其次蓝光、青光、绿光、黄光、橙光、红光。白光是复合光，白光干涉仪的光源波长一般在500nm附近。二、光干涉1. 什么是光干涉两列频率相同、相位差恒定、振动方向一致的相干光源能产生光的干涉。2. 如何产生光干涉通过分束器，将光一束打到物体表面，一束打到参考镜。 光反射回来时光程差相等时即可产生光干涉。三、获取高度 和 获取高度的常用方法点A和B的干涉条纹的亮度峰值之间的差，就表示高度差。方法1 ：通过PSI 相移干涉  获得高度差相移干涉法使用特定波长范围内的光源来确认目标面反射光和参考面反射光之间的光干涉。目标面的反射光和参考面的反射光之间的相位为Ø，距离参考面的高度为h，则Ø=4h/λ。借助相位测量法，可使用雅典扫描器等传动器移动测量面的光路，计算以1/4波长移动光路时获得的多个干涉条纹的相位差（Ø），然后将其转换为高度h。方法2：通过VSI垂直扫描干涉 获得高度差物镜以一定的间隔移动，以便确定每一阶的干涉条纹的亮度。当测量面的光路和参考面的光路长度相等时，干涉条纹的亮度达到最高。通过确定CCD光接收元件中每点最大干涉条纹亮度的Z轴高度可测出3D轮廓即高度差。四、白光干涉仪获取高度信息图例（例）通过PSI 相移干涉，获得激光镭雕的高度&三维形貌。

优可测新一代产品上市丨创新永不止步10月31日，国产工业三维视觉检测品牌“优可测Atometrics”全新一代测量产品上市。本次上市新品分别是AM-7000白光干涉三维形貌测量系统、AR-7000线激光三维测量传感器、AP-5000光谱共焦位移传感器等产品。作为行业同类进口仪器的“替代者”，优可测专注于提供智能制造和科学研究过程中高精度3D视觉检测方案与技术，在整机稳定性、分析精度、测量效率、多功能化等关键性能上取得突破。AM-7000白光干涉三维形貌测量系统 AM-7000白光干涉三维形貌测量系统优可测 AM -7000系列广泛用于半导体、光学、PCB、材料、3C制造、航空航天、刀具、医疗等行业领域，提供粗糙度、台阶、微观形貌、三维形貌比对、高度、平面尺寸等的测量，具备以下优势：①.精确捕捉，超高精度   微观D形貌的能力AM-7000可用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级别测量，以“面”的形式获取表面3D形貌；通过专用软件对3D形貌进行处理和分析，最高RMS重复性可达0.002nm。‍②. 超高速  极大提高测量效率，可用于自动化产线‍AM-7000搭配大量程高速纳米压电陶瓷器件；最高扫描速度400μm/秒， 3200Hz；③. 大视野高精度   大视野、大范围测量任意放大倍率下均可获得＜1nm的检测精度，即使范围超过镜头单视野的被测样品，可通过拼接方式测量实现高精度测量。④. 丰富的测量工具,从容应对各种行业应用涵盖市场上通用的国际标准测量工具，丰富工具可供选择使用，高效率轻松分析3D数据AR-7000线激光在线三维测量传感AR-7000线激光三维测量传感器AR-7000线激光三维测量传感器是优可测自主研发的在线三维检测国产设备，广泛应用于新能源、3C消费电子、轨道加工、汽车及零部件、金属加工等行业领域，提供3D轮廓、高度差、平面度、共面度、尺寸、图形等在线测量及分析能力。①􏚴3840 point 极致的高精度测量      重复精度高达0.4um 高质量的3D图像②  丰富的软件功能     轮廓测量-3D测量 多头拼接 外观检测 拖拽式编程③  专业技术团队支持自主可控的核心器件 10年以上3D服务团队 货期短至7天内AP-5000光谱共焦位移传感器AP-5000光谱共焦位移传感器AR-5000光谱共焦位移传感器是采用同轴彩色共焦技术原理，广泛应用于半导体、新能源、3C消费等行业领域.对不同材质产品均能稳定测量膜厚、平面度、轮廓等功能。在膜厚、跳动、定位、曲面等特定应用上具备独特优势。    ① 不受材质影响，实现稳定测量         玻璃、橡胶、金属、膜、镜面体    ② 大角度特性     ±48   ③ 尺寸小    测量单元直径＜10mm