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如何验证白光干涉仪精度丨科普篇
粗糙度、台阶高度是白光干涉仪最擅长的测量工作。
小优博士也重点说明过在此类测量应用的优势。
白光干涉的超高精度，会让很多评估者无从下手。
怎么验证一台白光干涉仪的高度测量能力？
小优博士给您支招。
非常简单！
只需准备“SiC硅片” 和 “标准台阶块”
15分钟验证3大参数即可！
a、RMS重复性
b、台阶重复性、台阶准度
c、扫描量程、扫描速度
一、RMS重复性
RMS重复性：ISO 25178 标准下，测量两次SiC表面粗糙度Sq；
取Sq/√2 的差值，或30取1σ的平均偏差。
（图1 SiC晶圆）
二、台阶重复性、准度
台阶重复性：测量标准台阶高度的重复偏差；
一般测量30次，取1σ的极值偏差/平均值。
台阶准度：测量值相对标准值的偏差；
一般测量30次，取1σ的标准偏差/标准值。
（图2 标准台阶块）
三、扫描量程、速度
硬件“压电陶瓷“直接决定了量程和速度；
验证方法:实测样品确定量程，使用秒表计算时间。
====
普通实验室环境下
小优博士使用优可测Atometrics白光干涉仪ER-230进行实验。
↓ ↓
（图3 对SiC标准片进行30次粗糙度Sq，取1σ的标准偏差）
RMS重复性0.005nm
--
（图4 对12μm马尔标准块进行30次高度测量）
取1σ的极值偏差/平均值，台阶高度重复性0.07%
取1σ的平均值/标准值，台阶高度准确性0.3%
--
（图5 对接近5000μm的产品进行扫描）
高度 4815μm
（图5 记录扫描时间）
扫描速度400μm/s
15分钟验证完毕，此技巧你掌握了么！
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