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白光干涉仪测量台阶高度的优势丨科普篇
上两期介绍了粗糙度的概念、设备，也着重说明了白光干涉原理在粗糙度的应用优势，传送门↓↓
《如何选择粗糙度测量设备丨科普篇》
而目前半导体、3C制造、材料、精密加工等领域，
除了粗糙度，还会涉及到台阶高度测量，微观领域的台阶从几个纳米到几百微米不等。
本期，小优博士带大家一起了解白光干涉在测量台阶高度的优势。
精度高
白光干涉仪精度可达亚纳米级别
图1， “镀膜台阶测量”
（由 优可测NA-500，50X 拍摄）
多线测量 工具丰富
快速选取比探针式更多的截面，保证测量稳定性；
功能丰富，自动测量最高最低点、平均值，统计分析。
可测高透明产品 
低至0.02%反射率的表面也可以轻松采集点云成像。
图3，“超光滑玻璃镜面”
（由 优可测EX-230 ，20X 拍摄）
非接触式测量
非接触式不会刮伤表面，
软质、尖锐产品可测。
广视野 速度快
倍率精度相同，可获得大视野。
以面的形式扫描，
一般在数秒钟内即可完成测量。
优可测白光干涉仪甚至可达400μm/s 扫描速度。
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