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深圳市矢量科学仪器有限公司

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原子层沉积ALD

品牌： 贝内克
产地： 芬兰
型号： Beneq TFS 200/500
报价： 面议
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核心参数

产地类别： 进口

产品介绍

Beneq TFS 200 代表了能够在晶圆、平面物体、多孔散装材料和具有纵横比 （HAR） 特性的复杂 3D 物体上沉积优质涂层的技术解决方案。

直接和远程等离子体增强沉积 （PEALD） 是 Beneq TFS 200 的标准选件。等离子体是电容耦合 （CCP），这是当今的行业标准。CCP 等离子选件为高达 200 毫米的基板提供直接和远程等离子体增强 ALD （PEALD），正面朝上或面朝下。

TFS 500 可以处理多种类型的基材;晶圆、平面物体、颗粒和多孔散装材料，以及具有高纵横比特征的复杂 3D 物体。它还可以配备手动操作的负载锁，以提高晶圆处理能力。不同类型的反应室可以很容易地安装在真空室内，这反过来又可以针对每个客户应用优化每个反应室。

TFS 500既满足了工业可靠性的严格要求，又满足了研发操作灵活性的需求。过程组件是现成的物品，这确保了备件的可用性。体容器都可以在短时间内轻松更换。前驱体准备包括气体、液体和固体材料。为了在前驱体选择上具有充分的灵活性，我们额外提供了 500 °C 热源选项。

自2014年以来，Beneq一直与MBRAUN合作，通过提供交钥匙研发解决方案来满足日益增长的OLED市场需求。此次合作的目标是将 Beneq 突破性薄膜封装技术的专业知识与 MBRAUN 的手套箱、定制外壳和独立装置相结合。


售后服务
产品货期： 60天
整机质保期： 1年
培训服务： 安装调试现场免费培训
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贝内克原子层沉积Beneq TFS 200/500的工作原理介绍

原子层沉积Beneq TFS 200/500的使用方法?

贝内克Beneq TFS 200/500多少钱一台?

原子层沉积Beneq TFS 200/500可以检测什么？

原子层沉积Beneq TFS 200/500使用的注意事项？

贝内克Beneq TFS 200/500的说明书有吗？

贝内克原子层沉积Beneq TFS 200/500的操作规程有吗？

贝内克原子层沉积Beneq TFS 200/500报价含票含运吗？

贝内克Beneq TFS 200/500有现货吗？

工商信息

企业名称

深圳市矢量科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91440300MA5G1QDA16

成立日期

2020-01-10

注册资本

500万人民币

经营范围

散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

联系方式

深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址

深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801

客服电话

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供贝内克原子层沉积ALDBeneq TFS 200/500，贝内克Beneq TFS 200/500产地为芬兰，属于进口原子层沉积设备，除了原子层沉积ALD的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多原子层沉积设备,客服电话，售前、售后均可联系。
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公司名称： 深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址： 深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801 联系人： 王雨 邮编： 518132

主营产品：

化学气相沉积设备 物理气相沉积设备 纳米压印设备 退火炉

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