原子层沉积ALD

大型零件需要大型原子层沉积工具。 Beneq P800 通常用于直径大于 600mm 的批量零件。大批量生产能力还可以降低较小零件的成本，使原子层沉积在许多应用领域中具有商业可行性。

设计和设置

我们根据每个客户的基材和应用选择和设计最佳的工具设置和 ALD 工艺。P800 的设计使得在反应室和底物支架的不同设置之间切换变得容易。这种内置的多功能性意味着您可以使用相同的原子层沉积系统从研发顺利过渡到批量生产。Beneq 提供量身定制的应用开发以及试生产支持，因此您可以在建立自己的 ALD 制造能力之前进行测试。

厚膜叠层

用于厚膜堆叠 （> 1 μm） 的理想 ALD 工具。大批量的厚膜堆叠需要大量的前驱体，并产生大量的残留物和副产物。我们设计的 P800 配备了高容量前驱体源以及前驱体灭活和过滤系统，以应对这些挑战。Beneq P800 是 35+ 年工业生产发展的结果，具有大批量 >1μm 厚膜堆栈。坚固可靠，24/7。

前兆

氧化物、氮化物、硫化物、金属等。选择正确的工艺和前驱体材料可能很棘手。何时使用高温与低温？前驱体材料可以安全使用吗？请咨询 Beneq 专家，帮助您找到适合您应用的材料或材料组合。P800 的温度范围从室温到 550°C，可轻松处理气体、液体和固体前驱体，包括有毒、自燃和腐蚀性前驱体材料。

保养

维护更简单、频率更低。 沉积厚膜堆叠的原子层沉积工具通常需要每月清洁一次。P800 的高容量泵管路过滤器使该工具即使在大批量生产中也能运行数月而无需维护。此外，更换 ALD 反应室通常需要一整天的时间，因为您需要先让它们冷却下来。P800 设计允许用户简单地拉出反应室和其他需要清洁的部件，从而将时间缩短到几分钟。

多腔室设计

避免因维护而造成不必要的停机时间。 Beneq P800 使用多个反应室，这些反应室在每次运行之间不断更换，因此您可以最大限度地减少与维护相关的生产停机时间。

预热烤箱

Beneq 专有的预热器。 我们可选的预热烤箱缩短了加热时间，并进一步提高了您的吞吐量。