Angstrom Engineering PVD COVAP

科瓦普物理气相沉积平台是蛤蜊壳室，便于接近。即使在手套箱中也可以轻松装载材料和基材。为移除屏蔽层、清洁和为下一次运行准备系统提供畅通无阻的通道。紧凑的 600 mm x 1000 mm 系统占用空间。涡轮分子泵提供高真空。QCM传感器经过精心隔离，以确保不会受到相邻源材料的干扰。包括全系统培训。 特征基于配方的多层控制。顺序沉积或共同沉积。夹具支持高达 100mm x 100mm 的基材。准备进行手套箱集成。源配置可轻松安装最大 100 mm x 100 mm 的基板尺寸。腔室可容纳 2 或 4 个热阻源。

Angstrom Engineering 的 COVAP PVD 平台是一种灵活的、与洁净室兼容的涂布平台，能够大批量生产100毫米至1200毫米的基板和/或批量生产较小的部件。其外形尺寸提供了出色的膜厚均匀性，并为先进的夹具选项提供了充足的空间。所有箱式涂布机平台配置都能对膜厚不均匀性、材料产量和产量进行主动建模和校正。

该平台的技术参数包括：

• 尺寸：可生产100-1200mm基板。

• 镀膜源：溅射（射频、直流、脉冲直流、HIPIMS 和反应式）、热蒸发（使用各种舟形、丝状和坩埚加热器）、电子束蒸发（提供多种源功率和电源选项）。

• 等离子和离子束处理：使用一系列离子源进行清洗和薄膜增强，包括辉光放电等离子清洗。

• 金属化：在金属表面沉积一层或多层金属薄膜，以提高其耐腐蚀性、耐磨性和导电性等性能。

• 光学镀膜：在光学元件表面沉积一层或多层光学薄膜，以改变其光学性能，如反射率、透过率和折射率等。

• 半导体沉积：在半导体材料表面沉积一层或多层薄膜，以制备半导体器件，如晶体管、集成电路等。

• 太阳能电池：在太阳能电池表面沉积一层或多层薄膜，以提高其光电转换效率。

• 数据存储：在硬盘、光盘等数据存储介质表面沉积一层或多层薄膜，以提高其存储密度和读写速度。

• 生物医学：在医疗器械表面沉积一层或多层薄膜，以提高其生物相容性和耐腐蚀性。

总的来说，Angstrom Engineering 的 COVAP PVD 平台是一款功能强大、性能稳定的物理气相沉积设备，广泛应用于半导体、光学、太阳能、数据存储等领域。