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深圳市矢量科学仪器有限公司

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当前位置： > 退火炉 > 尤尼坦快速退火炉RTP-100

尤尼坦快速退火炉RTP-100

品牌： 尤尼坦
产地： 德国
型号： RTP-100
报价： ¥1
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产品介绍

主要特点是

  • 良好的温度均匀性

  • 精确控制的斜坡上升速率和快速斜坡下降速率

  • 工艺周转时间短

  • 舒适的气体控制

  • 台式系统，占地面积小

带前置式抽屉的多功能桌面单元，适用于以下应用：

  • 适用于各种半导体工艺的优秀工具

  • 实施新的半导体工艺

  • 原型研究

  • 质量管理

  • 退火

  • 快速热处理

  • SiAu、SiAl、SiMo合金化

  • 低介电常数

  • 植入后退火

  • 铜浆烧制

  • 电阻膏烧制

  • 其他工艺按需提供


技术参数：

  • 适用于最大 100 mm （4“） 或 100 mm x 100 mm 基板尺寸的单晶圆

  • 由石英玻璃制成的工艺室

  • 带集成气体入口和出口

  • 包括一条带氮气质量流量控制器的过程气体管路（5 nlm = 标准升/分钟）

  • 由 18 个红外灯 （20 kW） 加热

  • 顶部和底部加热（可选）

  • 外部泵系统具有真空功能（最高 10E-3 hPa，最高 10E-6 hPa：参见 RTP-100-HV）

  • SPS 过程控制器，带 50 个程序，每个程序最多 50 个步骤（以太网接口），SIMATIC

  • 7 英寸触摸屏，便于编程和过程控制

  • 最高气温 1200 °C

  • 通过热电偶进行温度控制

  • 需要水冷

  • 电气连接类型：32 A CEE 插头（3x 230 V，3 相，N，PE，20 kW）

  • 烤箱尺寸：504 x 504 （700） x 570 毫米（宽 x 深 x 高）

  • 重量： 55 kg

烤箱将由西门子 SPS 控制器进行编程。这允许存储 50 个程序，并保存所有温度曲线和段。
可根据要求提供水冷却器、附加流量计、附加气体管线、附加热电偶等选件和附件。该工具
适用于各种应用程序和客户。体积小，可以舒适地装卸腔室。烤箱可以很容易地放在
标准实验室的桌子上。

选件和配件：

RTP-100型带有 1 MFC 氮气 （5 nlm） 的基本单位
RTP-MFC型质量流量控制器（总共最多 4 个）
VAC 一真空度高达 3 hPa（含）真空传感器和阀门（不包括泵）
VAC 二真空度高达 10E-3 hPa（含）真空传感器和阀门（不包括泵）
国会议员隔膜泵或隔膜泵
RVP（RVP）旋片泵
RTP-Ox （英语）氧气测量
RTP-MM型湿度测量
RTP-H2+H2S氢气模块使用 100% 氢气，带安全装置，包括 MFC
RTP-SW型用于冷水机组和/或真空泵的开关盒
RTP-TC型添加热电偶以在设备上测量（最多 1 个）
RTP-录像机VCR 连接器和线路（根据要求）
WC III闭环水冷站
RTP-GP型石墨板或基体（SiC涂层：根据要求）
RTP-PC-100型用于一个 100 mm 过程控制器单元（双包装烤箱）的附加烘箱室
RTP-QR-50型用于 50 mm 晶圆的适配器
RTP-QR-75型用于 75 mm 晶圆的适配器


售后服务
产品货期： 60天
整机质保期： 1年
培训服务： 安装调试现场免费培训
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尤尼坦退火炉RTP-100的工作原理介绍

退火炉RTP-100的使用方法?

尤尼坦RTP-100多少钱一台?

退火炉RTP-100可以检测什么？

退火炉RTP-100使用的注意事项？

尤尼坦RTP-100的说明书有吗？

尤尼坦退火炉RTP-100的操作规程有吗？

尤尼坦退火炉RTP-100报价含票含运吗？

尤尼坦RTP-100有现货吗？

工商信息

企业名称

深圳市矢量科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91440300MA5G1QDA16

成立日期

2020-01-10

注册资本

500万人民币

经营范围

散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

联系方式

深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址

深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801

客服电话

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供尤尼坦快速退火炉RTP-100，尤尼坦RTP-100产地为德国，属于退火炉，除了尤尼坦快速退火炉RTP-100的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多退火炉,客服电话，售前、售后均可联系。
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公司名称： 深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址： 深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801 联系人： 王雨 邮编： 518132

主营产品：

化学气相沉积设备 物理气相沉积设备 纳米压印设备 退火炉

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