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深圳市矢量科学仪器有限公司

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化学机械抛光机CMP

品牌： MCF
产地： 其他
型号： customized-17
报价： 面议
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核心参数

产地类别： 进口

产品介绍

其它参数

抛光盘直径：≥20inch(508mm)
转速范围：30-200rpm
保持环压力控制范围：70-700g/cm2
抛光头转速范围：30-200rpm
摆动幅度：±10mm

v 该化学机械抛光机可用于各类半导体集成电路、氧化物、金属、STI、SOI等产品的CMP平坦化抛光。 通过更换抛光头可兼容4、6、8英寸晶圆

v 系统功能：手动上下片，程序自动进行抛光，配有终点监测装置，配置半自动loading & unloading托盘系统，8寸规格，方便8寸晶圆上下片

v 抛光数据监测：具有摩擦力监测功能

v 配备红外温度计实时监测抛光过程中抛光垫表面温度

v 抛光盘直径≥20inch(508mm) 转速范围：30-200rpm

v 抛光头wafer加压方式：气囊加压，带有背压功能

v wafer压力控制范围：70-500g/cm2

v 保持环压力控制范围：70-700g/cm2

v 抛光头转速范围：30-200rpm 摆动幅度：±10mm

v 抛光液供应系统：3个可调流量蠕动泵供液，3路独立的抛光液通道，滴液位置可调

v 配置摩擦力&温度终点监控系统：含专用监测软件，带有End point detection功能

v 控制系统：PC工控机控制，触摸屏操作，可存储20个加工程序，加工程序最多可设6个不同加工阶段

v 均匀性 (1sigma,EE(Edge Exclusion):5mm)

片内非均匀性WIWNU≤5% 

片间非均匀性WTWNU≤5%


售后服务
产品货期： 60天
整机质保期： 1年
培训服务： 安装调试现场免费培训
问商家

MCF化学机械平坦CMP设备customized-17的工作原理介绍

化学机械平坦CMP设备customized-17的使用方法?

MCFcustomized-17多少钱一台?

化学机械平坦CMP设备customized-17可以检测什么？

化学机械平坦CMP设备customized-17使用的注意事项？

MCFcustomized-17的说明书有吗？

MCF化学机械平坦CMP设备customized-17的操作规程有吗？

MCF化学机械平坦CMP设备customized-17报价含票含运吗？

MCFcustomized-17有现货吗？

工商信息

企业名称

深圳市矢量科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91440300MA5G1QDA16

成立日期

2020-01-10

注册资本

500万人民币

经营范围

散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

联系方式

深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址

深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801

客服电话

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供MCF化学机械抛光机CMPcustomized-17，MCFcustomized-17产地为其他，属于进口化学机械抛光机（CMP），除了化学机械抛光机CMP的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多化学机械抛光机（CMP）,客服电话，售前、售后均可联系。
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公司名称： 深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址： 深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801 联系人： 王雨 邮编： 518132

主营产品：

化学气相沉积设备 物理气相沉积设备 纳米压印设备 退火炉

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