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上海银雀电子科技发展有限公司

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当前位置： ASTchian > 物理气相沉积设备 > SENTECH 平行板式PECVD沉积系统-SI 500 PPD

SENTECH 平行板式PECVD沉积系统-SI 500 PPD

品牌：
产地： 德国
型号： SENTECH-SI 500 PPD
报价： ¥200万 - 300万
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核心参数

仪器种类： 其他

应用领域： 微电子学

产地类别： 进口

靶材： 硅、化合物晶圆

基片尺寸： 2-8

基片温度范围： 200K

成膜厚度均匀性： 1-5%

极限真空： -6

产品介绍

SENTECH 平行板式PECVD沉积系统-SI 500 PPD

SENTECH仪器（德国）有限公司是国际主流的半导体设备商，研发、制造和销售先进的薄膜测量仪器（反射仪、椭偏仪、光谱椭偏仪）和等离子工艺设备（等离子刻蚀机、等离子沉积系统、用户定制系统）。

SI 500 PPD是电容平板式PECVD等离子沉积设备，主要用于SiO2，SiOxNy，SiNy，a-Si，SiC薄膜的沉积 。适用于2"--8" 样片的薄膜沉积。

图1、SI 500 PPD 设备外形图

系统配置：

• 电源13.56 MHz, 600 W
• 驱动电极集成了淋浴头和暗区屏蔽
• 6 MFC控制气路(SiH4, NH3, N2O, O2, Ar, CF4)
• 预真空锁loadlock， 带有取放机械手
• 高速率真空泵系统，独立气流压强控制
• 上电极和下电极分别加热，具备高的长期可靠性和工艺重复性
• 基底温度20oC至350oC
• 远程控制(RFC) 


售后服务
保修期： 1年
是否可延长保修期： 是
现场技术咨询： 有
免费培训： 2人技术中心培训
免费仪器保养： 6个月1次
保内维修承诺： 免费更换零件非人为因素
报修承诺： 24小时内反应
工商信息

企业名称

上海银雀电子科技发展有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

310114001336027

成立日期

2005-04-26

注册资本

经营范围

计算机软硬件、电子产品领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,会展、会务服务,文化艺术活动策划,商务咨询,机械电子设备、建材的销售。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】

联系方式

上海银雀

公司地址

翔宇

客服电话

上海银雀电子科技发展有限公司为您提供SENTECH 平行板式PECVD沉积系统-SI 500 PPDSENTECH-SI 500 PPD，nullSENTECH-SI 500 PPD产地为德国，属于进口物理气相沉积设备，除了SENTECH 平行板式PECVD沉积系统-SI 500 PPD的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多物理气相沉积设备,ASTchian客服电话，售前、售后均可联系。
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公司名称： 上海银雀

公司地址： 翔宇 联系人： 侯先生 邮编： 277500

主营产品：

X射线衍射仪(XRD) 扫描电镜（SEM） 扫描探针显微镜SPM（原子力显微镜AFM、扫描隧道显微镜STM）

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