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核心参数
仪器种类: 其他
应用领域: 微电子学
产地类别: 进口
靶材: 硅、化合物晶圆
基片尺寸: 2-8
基片温度范围: 200K
成膜厚度均匀性: 1-5%
极限真空: -6
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SENTECH仪器(德国)有限公司是国际主流的半导体设备商,研发、制造和销售先进的薄膜测量仪器(反射仪、椭偏仪、光谱椭偏仪)和等离子工艺设备(等离子刻蚀机、等离子沉积系统、用户定制系统)。
SI 500 PPD是电容平板式PECVD等离子沉积设备,主要用于SiO2,SiOxNy,SiNy,a-Si,SiC薄膜的沉积 。适用于2"--8" 样片的薄膜沉积。
图1、SI 500 PPD 设备外形图
• 电源13.56 MHz, 600 W • 驱动电极集成了淋浴头和暗区屏蔽• 6 MFC控制气路(SiH4, NH3, N2O, O2, Ar, CF4) • 预真空锁loadlock, 带有取放机械手• 高速率真空泵系统,独立气流压强控制• 上电极和下电极分别加热,具备高的长期可靠性和工艺重复性• 基底温度20oC至350oC • 远程控制(RFC)
企业名称
上海银雀电子科技发展有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310114001336027
成立日期
2005-04-26
注册资本
经营范围
计算机软硬件、电子产品领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,会展、会务服务,文化艺术活动策划,商务咨询,机械电子设备、建材的销售。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
上海银雀
公司地址
翔宇
客服电话
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公司名称: 上海银雀
公司地址: 翔宇 联系人: 侯先生 邮编: 277500
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